售价超1亿美金！ASML EUV设备遭跟拍！

售价超1亿美金！ASML EUV光刻机遭跟拍！

7月23日，据台媒报道，台积电EUV光刻机进货车遭跟拍。在长度约25秒的视频中，看到载着半导体重装备ASML的EUV货柜，一共有5辆大型拖车，其中一辆载着2个标准货柜，另外4辆各自载1个EUV货柜。

车队由台湾新竹科学园区的园区二路一路向工业东三路方向行驶，最后在过了工业东三路后便右转上了中山高速公路。而园区二路两旁正是半导体龙头台积电重要的厂区所在。

目前EUV一台的售价就超过1亿美元（约人民币6.47亿元），以4台EUV专用货柜来算，这车队正载运着25亿元在路上跑。

这段影片看来是被熟悉半导体产业的人士所拍下，一眼就看懂ASML品牌及货柜长相。

台积电目前光是7nm及5nm制程的营收就占了整体的49％，将近一半，在先进制程上持续推进，包括优化4nm与建置3nm产线，订单满手能见度已经看到2022年，今年EUV的采购数量超过50台。

记者查证台积电是否有新设备进厂，台积电不予回应。

2 售价1.2亿美金！ASML光刻机工作原理（视频）

ASML——全球最大的光刻机设备和服务供应商，不但占据了全球光刻机80%的市场份额，而且还是唯一能向客户供应高端EUV（极紫外光）光刻机的企业。当前，一台EUV光刻机售价超过1亿美元，而且还相当不好买。EUV光刻机年产量不高，从2013年首批2台EUV光刻机量产以来，到2019年ASML EUV光刻机预计年产量也只有30台。

虽然占据了全球80%的市场份额，但是ASML并非技术垄断。ASML光刻机设备90%的零部件都依赖外购，光源来自于美国Cymer（2013年，ASML完成对Cymer的收购），光学模组来自德国蔡司，计量设备来自美国是德科技，传送带则来自荷兰VDL集团。同时，ASML也非常重视并购投资以及与其他企业合作的策略，光刻机的研发需要投入巨大的人力物力财力，并事关全球半导体芯片的升级速度。

实际上，ASML也并非一直都一帆风顺。1984年，ASML从飞利浦公司半导体部门独立，独立后ASML专注研发光刻技术。创立初期ASML与日美同类企业相比，在技术方面稍显落后，且缺乏充裕的研发资金。为此，ASML决定走轻资产道路，基于该策略再加上母公司飞利浦的雪中送炭，ASML在1995年成功上市。

提升技术最便捷的方式即是通过并购来填补空白，在上市之后ASML开始了一系列的并购和投资。其中，最重要的一桩并购案是2013年以19.5亿欧元全资收购美国光学技术供应商Cymer，该起并购为高端EUV光刻机成功量产奠定了基础。2016年11月ASML收购了 Carl Zeiss SMT 24.9%的股权，ASML承诺将在未来6年内投资2.2亿欧元支持Carl Zeiss SMT在光学光刻技术上的研发，同时还将针对Carl Zeiss SMT的其他相关供应链投资5.4亿欧元。同年11月，ASML完成了对汉微科的收购，以强化其产业链的垂直整合能力。

后来更是因为半导体光刻关键微影技术的研发迫切需要超紫外光（EUV）技术，在全球范围内只有ASML具备研发EUV光刻机的实力，这也造就了一大批半导体龙头企业参与投资ASML。

那今天来看看这个1.2亿美金，乃至未来更贵的第二代EUV光刻机，内部到底怎样？