芯片揭秘 | EDWARDS真空系统，陪半导体制造企业走进先进制程

芯片揭秘主播 幻实（右）对话

埃地沃兹贸易（上海）有限公司应用技术总监马震（左）

 

在半导体制造过程中，经常涉及纳米级别的物理或化学反应，在这种情况下，若处于通常的大气状态将很大程度影响半导体质量。

以外延生长为例，在常规环境下，晶体表面将接触几亿个气体分子，会阻碍外延层的有序排列，引入大量缺陷。合适稳定的真空度将为半导体的卓越性能提供有利基础。

如何在半导体制造过程中获得高质量的真空环境？哪些半导体制程可能会用到真空泵？随着半导体产业的发展，真空设备领域会面临哪些新的挑战？中国真空设备市场与国外相比有何区别？

本期我们邀请到埃地沃兹贸易（上海）有限公司应用技术总监马震先生，听他谈谈真空系统在半导体制造中的应用及未来趋势。

幻实（主播）

很高兴看到越来越多的行业专家开始关注除了主机台生产以外的其他附属设备（包括真空设备）。

所有半导体的工厂环境需要非常接近，千级、百级、十级是对空气颗粒度的要求，但是真空需要达到万分之一的压力，这个级别几乎是0级的，达到一个非常洁净的环境。

洁净的环境有两点不同的要求：

第一、要稳定的维持在这个低压的环境，稍微的压力回升，就意味着杂余的分子会扩散回来，破坏掉洁净的环境。

第二、真空泵在没有运作起来以前，是暴露在大气里的，所以我们的真空设备以及相关的电气控制设备，它的污染程度不能高于它所处的洁净环境，这就要求真空泵在制造过程中也要像生产F1赛车一样在一个洁净的环境里面去生产，所以这个是半导体真空泵面临的两个主要挑战。

芯片的发展方向其实不用预测，很多媒体和研究机构早已经给出了大量文章，未来的7纳米、3纳米、2纳米，甚至1纳米，已经在实验室里成熟了，只是要考虑成本和时机的问题，更重要的是这些芯片做出来以后，有什么具体的应用场景。其实这些芯片是为5G的推广，为一些健康产业，为未来的AI数据交换做准备的。

我比较担忧的是未来 AI智能的计算力有多少比例会用于无价值的应用，比如大量的运算力都被白白的放到虚拟货币的炒作上。如果这些算力放到该去的地方，会对半导体行业起到拉动作用，它放到比特币里面去，其实就是进到一个黑洞里。

我觉得半导体行业未来是非常光明的，随着人们对AI和健康产业的关注，未来芯片需求会提升一个数量级。

好的，也谢谢您对半导体行业提出的一个非常积极正面的看法，我相信这个行业内大部分的从业者也很希望听到这样有共识的声音。因为毕竟这个行业之前不是那么被关注，大家都挺辛苦的，发展也不是特别好，所以今天我觉得非常开心能跟行业的前辈一起来探讨，马总给我们说个您的呼吁或者是建议来结束我们今天的交流吧。

好的，我希望媒体能够更多的传播我们半导体行业的信息给大家，尤其是年轻人，也希望越来越多的年轻人不再对半导体感到陌生，而能够加入半导体的团队里面来。半导体是一个非常朝阳的产业，希望等我们这一代人退休的时候能有更多年轻人顶上，为半导体产业的成长贡献更高的动能。