先进制程废液暴增,台熔抢占半导体废弃物处理商机
来源:赵辉发布时间:2026-06-24301浏览
询问 AI随着半导体先进工艺从28纳米向3纳米乃至2纳米节点演进,光刻与刻蚀工艺所需的化学清洗频次显著增加,直接推动了液态化学废液处理需求的快速上涨。台熔集团董事长陈丽丽指出,芯片线宽越小,清洗步骤就越多。数据显示,3纳米工艺单片晶圆产生的废弃物量是28纳米的5.6倍,而2纳米节点更是高达13倍,促使液态化学废液量呈倍数级增长。
面对废液激增的趋势以及ESG(环境、社会和公司治理)合规要求,半导体厂商主要采取两种应对策略:一是将废弃物处理业务外包,二是在厂内自建零废弃中心。陈丽丽表示,台熔集团在这两个方向均与业界保持着深度合作。在业务分类上,有害化学废液由台熔集团直接处理;一般工业固体废物则交由全资子公司翰阳绿能,通过焚烧技术将热能转化为电能,并并网售给中国台湾地区“台电”。从营收结构来看,翰阳绿能贡献了集团约六成的总营收,而半导体相关业务则占据了集团总营收的七至八成。
在有害废液处理领域,由于废液具备高腐蚀性且成分繁杂,目前中国台湾地区地区仅有5至6家企业具备相关处理资质。加之半导体厂商出于技术保密考虑,通常不提供废液的具体配方,处理企业必须依靠软硬件技术构建竞争壁垒。台熔集团的做法是:所有废液入厂前均需经过实验室的严格检测,涵盖热值、酸碱度、硅含量、硫含量及氯含量等指标。随后根据成分进行分类,难以分解的废液直接送入焚烧炉彻底燃烧,具备回收价值的则进入特定反应系统进行循环利用。同时,依托多年积累的庞大数据库,企业能够实现精准配料,在保障焚烧炉最佳燃烧效率的同时延长设备使用寿命。此外,提纯后的再生溶剂(如异丙醇、边缘清洗液、乙酸正丁酯及碳酸丙烯酯等)会被降级应用于传统家具制造等领域,作为设备降温剂或调和剂,该循环经济模式目前贡献了约8%的营收。
在零废弃中心建设方面,部分半导体头部企业为提升ESG绩效,已开始在中国台湾地区地区中部厂区投资兴建厂内处理设施,以降低对外排放。这类设施通常由专业机构代为运营,而中国台湾地区地区具备此类竞标与执行能力的企业不超过3家,台熔集团便是其中之一,该代运营业务约占集团营收的4%。
在海外业务拓展上,陈丽丽透露,日本废弃物处理产业较为成熟,集团正积极寻求合作;欧美市场因法规差异暂未显现明显机遇。然而,随着中国台湾地区供应链向东南亚转移,当地的废液处理需求日益凸显。未来,集团计划通过与当地企业合资建设,由地方资本投入硬件,台熔集团负责输出技术与服务。此外,集团旗下的日环公司已进军生物医疗废弃物处理领域,持续完善绿色循环经济产业布局。
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