问世30年,最长青的光刻机：PAS5500，至今仍在用！助AS

ASML 表示，1991 年ASML 首部PAS 5500 机台完成出货之后，直到今天，PAS 5500 仍是ASML 最长青的光刻机设备，也是ASML 用途最广泛的产品线之一。当时在PAS 5500 出货之前，ASML在半导体光刻机市场位居第三，远远落在竞争对首Nikon 和Canon 之后。然而， PAS 5500 的成功很快的让ASML 晋升第二大光刻机设备商，并为ASML 日后在光刻机市场的全球发展打下基础。

至于，为什么叫做PAS 5500 呢？PAS 5500 来自1970 年代，当时飞利浦的研究员开始实验一系列的设备，而PAS 5500 的全名「the Philips Automatic Stepper(PAS)」。而为了纪念这部机台的来源，也代表ASML 与飞利浦长期的合作关系，因此取名为PAS 5500。