Ferrotec（中国）拟投资10亿元建设300mm半导体晶圆再生项目

3月29日消息，据中欣晶圆发布，Ferrotec（中国）旗下安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司投资建设年产 240 万枚半导体晶圆再生项目，项目计划总投资 10 亿元，占地 75 亩，新建厂房 56774.38 平方米。

 

据悉，该项目购置国内外先进设备数百台套（关键工序采用进口设备及专用设备），建设周期 15 个月，项目建成后将形成年产 240 万枚 300mm 半导体晶圆精密再生的生产线，可达世界先进水平。

 

官方介绍，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司由日本 FerroTec 株式会社（日本磁性流体技术控股有限公司）在中国的全资子公司上海申和热磁电子有限公司于 2019 年在铜陵发起创立。日本 FerroTec 株式会社（日本磁性流体技术控股有限公司）于 1992 年正式进军中国市场。FerroTec（中国）现已成长为集产品研发、制造、销售于一体的多元化企业集团。旗下管理的 20 余家公司与制造基地遍布中国各地，为国内外客户提供具有世界先进水平的材料、器件、装备和系统解决方案。

 

项目具有国内配备最完善的再生晶圆生产线，也是国内首家专业从事 300mm 大尺寸硅片晶圆再生的专业厂商，填补国内该领域空白。本项目的建设，将促使国内晶圆厂摆脱长期主要依赖进口的窘境，使其在国内即可实现高水平的大尺寸晶圆再生。

 

采用国际一流的 300mm 晶圆用全自动精密 CMP 研磨机，研磨加工实现全程自动化，厚度损失少；设备内部利用 HEPA(High Efficiency Particulate Air)过滤装置，保持高洁净度；另外量测设备采用美国 KLA-Tencor SP5 颗粒检测仪 , 具有 DUV 灵敏度和高吞吐量的无图案晶圆表面检测系统，加工与量测设备均处于国际行业领先水平。

 

项目建设过程中，依托 FerroTec（中国）成熟的半导体晶圆技术人才团队为基础，外籍专家团队直接参与设备采购、安装与调试，国内外知名厂商参与设备搬运与二次配工程，每一环节均有高品质掌控。