MEMS传感器技术正在快速发展

随着新一轮国际改革和产业链转型的蓬勃发展，MEMS传感器已广泛应用于工业物联网、无人驾驶、生物医疗、5G等多个行业，发展前景广阔。随着信息技术、人工智能技术、物联网技术、精密机械制造、5G通信等行业发展趋势的日益迫切，MEMS传感器技术产业链的进一步发展趋势已成为当今日常生活中的关键任务。

最近，素有“珠城”之美誉的安徽蚌埠，因一次交流会的举行而光彩照人，异彩纷呈。最近，以凝‘芯’合力，创‘智’未来为主题的第四届我国MEMS传感器技术产业发展规划交流会暨企业家论坛在蚌埠市举行。与会权威专家反响强烈，加快新基础设施建设，加快新一代信息技术建设，为MEMS传感器技术带来巨大机遇。

MEMS传感器技术进入发展趋势“春天”。

如今，随着新一轮国际改革和产业链转型的蓬勃发展，MEMS传感器已广泛应用于工业物联网、无人驾驶、生物医疗、5G等多个行业，发展前景广阔。中国科学院院士工程院院士、清华副校尤政在视频演讲中表示，集成电路芯片产业链是支撑中国社会经济发展趋势和保障国防安全的战略、基础和战略重点产业链。发展前景广阔，科技创新需求迫切。中国非常重视集成电路芯片产业链的发展趋势。以MEMS为关键的AD8542ARZ-REEL7传感器技术是现代科技的前沿技术，也是新一代信息技术的支撑之一。

尤政显示，现阶段，我国MEMS产业链已步入快速发展的道路，拥有一批敢于创新和实践活动的技术专家和自主创新精英，不断涌现出一批敢于承担责任、有所作为的大牌明星企业。但是，大家也要清楚地了解现阶段我国与资本主义国家的区别。当前，我国中低档传感器自动化技术水平较低，高档传感器销售市场绝大多依赖进口，缺乏科技创新的关键技术和商品，主要设备、关键原料的受制于人问题仍不容乐观。随着信息技术、人工智能技术、物联网技术、精密机械制造、5G通信等行业发展趋势的日益迫切，MEMS传感器技术产业链的进一步发展趋势已成为当今日常生活中的关键任务。

赛迪顾问股份有限公司总经理李珂表示，MEMS产业链现在正处于春天:销售市场和产业布局发生了前所未有的巨大变化；MEMS传感技术趋于完善，处于大规模商业批量生产环节；从金融和资产的角度来看，MEMS产业链就像流动的血夜。

李珂认为，MEMS产业链的一些关键发展趋势。首先，未来十年是我国MEMS产业链的黄金十年，但仍然面临着世界各国复杂形势和销售市场的挑战。其次，代工生产制造是我国MEMS产业链的关键特征，MEMS加工工艺将逐步规范化、兼容化。再次，优秀的封装是MEMS产业链的关键一步，MEMS封装是决定MEMS元器件特征的关键一步。最后，新材料和传感器的集成是MEMS产业链发展趋势的机遇和挑战。大大提高硅基MEMS产品的特性，控制成本，是未来MEMS产业链销售市场的巨大机遇。他说，将多种单一功能传感器组成多用途一体传感器组，然后根据集成微处理器、微控制器等集成电路传感器集成技术，也是MEMS产业链新的销售市场机遇。

MEMS传感器技术逐渐取代传统传感器，在新一代信息技术、人工智能技术、物联网技术、精密机械制造、5G通信、智能工程等行业发挥基本支撑作用。在这种情况下，中国蚌埠传感器谷的新项目应运而生。

安庆作为安徽的老工业基地，加工制造业种类繁多，是历史上全国三大传感器产业基地之一，拥有一批积累了大量产品研发和生产制造基础的传统传感器公司。这类公司占据了很大的市场份额，也塑造了很多优秀的人才。

据安庆市传感器谷负责人高辉详细介绍，中国蚌埠传感器谷是安庆市新一代信息技术和产业链发展方向规划合理布局的重大产业发展规划。中国蚌埠传感器谷计划花了五年时间，总投资约100亿元，吸引了世界各国传感器和物联网技术行业的200多家优势公司聚集在蚌埠市产业链，成为集产业链和产业产品研发、设计方案、生产制造、散装、检测阶段于一体的中国一流传感器产业基地。

工业物联网或未来的主要用途。

工业物联网可能是MEMS未来应用最广泛、最重要的行业。在物联网的世界范围内，MEMS技术有着更广泛的应用舞台。中国科学院院士工程院院士杨善林认为，工业物联网是最重要、最大的主要用途之一。

谈到工业物联网之前，首先要提到的是因特网技术，因特网技术的发展趋势可以分为三个环节。在演讲中，杨善林举出了两个例子，实际上显示了基于因特网技术的全新升级服务项目模式。首先是基于全世界大脑的自动驾驶车辆。几个汽车因特网构成了汽车因特网，每个汽车因特网都是根据自己的自动驾驶总体规划和操作经验，获取安全驾驶数据信息，并将其上传到公司的大数据中心，生成汽车因特网的学生自主学习因特网，从而提高自动驾驶和智能交通的技术实力。因特网技术是制造汽车的重要部件，没有这种因特网技术，汽车就不那么智能。

第二个例子是智能医疗服务项目。目前很多人手里都戴着各种智能运动手环，可以随时测量血压、脉率等生理主要参数。如果把这个生理主要参数传递到互联网技术上，可以随时区分分析人体的身体状况。杨认为，未来，这很可能成为一种基于互联网技术的全新升级健康服务方式。

有人说，物联网技术是基于互联网技术、传统中国移动宽带等的信息内容媒介，其实质是产生数据共享的互联网。但是从这两个例子可以看出，物联网技术是制造车辆的重要组成部分，是人体保持身心健康的关键组成部分，实质上是资源。杨善林表示，互联网技术类似于设备和电力工程，现在可以将互联网技术定义为对人们社会经济发展趋势有深刻影响的人工合成资源。这种资源全方位融入社会经济系统软件运营的全过程，普遍渗透到生产制造日常生活的各个领域，促进网上线下推广资源的结合与重建，促进生产制造和生活习惯的转型。杨善林说。

杨善林在演讲中表示，工业物联网也经历了与互联网技术相似的三个发展趋势，即从技术系统软件到应用平台，再到融入商品资源。

杨善林强调，互联网认知技术、制造智能技术、工业物联网质量标准体系、人机对战合作技术和基本技术是工业物联网的核心技术，工业物联网有四种发展趋势。

第一种发展趋势是构建工业物联网技术系统软件。推进工业物联网，立足于工业生产的本质，围绕智能特点，以加工制造业的要求为先导，首先突破数据信息认知、识别分析、互联通信、云服务、信息内容实体模型、网络服务实体模型等重要基本技术。

第二种发展趋势是工业物联网应用业物联网应用模式的自主创新。要着眼于公司、地区和领域的转型发展，必须围绕生产车间、公司、整个产业链和供应链管理构建工业物联网，探索多场景、全传动链和多层次应用模式。

第三种发展趋势是根据工业物联网的产业生态构建。要紧紧围绕集团公司、跨公司的协同平台、产业链生态要求，自主创新产业链和全客户价值。

第四种发展趋势是工业物联网的现代化发展趋势。紧紧围绕工业物联网技术管理体系，必须进行经济全球化合作和科技攻关。

杨善林总结道，在工业物联网发展趋势的早期阶段，要在质量标准体系、情感认知、通信互联、生产制造智能化、人机对战协作、基本技术等方面取得基本理论和技术进步，要建立支撑点系统软件生产制造方式的自主创新和运营模式的自主创新以及公司生态系统的服务平台。工业物联网和互联网技术最终会融为一体，工业物联网必须走现代化的道路。

MEMS加速了相关行业的交叉结合。

南京大学物理学院副教授王漱明的演讲重点集中在微结构电子光学超构表层这个行业。据王漱明介绍，超构镜片不仅可以应用于量子领域，还可以加速与MEMS管理系统的交叉与结合。

量子技术是每个人国家发展的关键战略课程，我们在这些方面也有一些积累，在无人机上有很好的集成量子技术效果。应用超构镜片阵列也可以完成量子技术的新提升。比如高维空间路径纠缠不清源，根据超构镜片和非链接过程的整合(可)完成高量子纠缠，10×10的100维趋势纠缠不清。他表示，超构镜片阵列非常有效，但超构镜片阵列完成后不能进行动态调整。在这种情况下，超构镜片与MEMS控制管理系统的结合是一个很大的对策。超构镜片与MEMS融合，可以做可调镜头焦距显像。期待与同事多交流，看能否让MEMS与大量超构管理系统和动态可调管理系统发挥交叉作用。王漱说破。

正如MEMS技术有望与超构镜片产业进行更多方面的结合一样，现阶段，MEMS和智能制造系统、智能生活产业一样，也创造了大量的交接点。我们国家仪器设备学好了微结构元件和系统软件技术联合会主席孙立宁在演讲中表示，未来产业链的发展趋势是多学科交叉的结果，产业链很难仅仅依靠某个项目技术来实现发展趋势。

当前，传感器已向古月百业联盟加速渗透，结合。孙立宁表示，以前的加工厂都是人开数控车床，未来和今天的加工厂都是由智能机器人进行手机软件扫控等。为了在生产过程中对商品的质量、武器装备进行认证，必须要有传感器，只有这样才能产生数据信息。据此，孙立宁认为，传感器是制造智能武器装备系统和智能系统的关键途径。

在工业生产行业，现阶段的工业机械手和数控车床没有外部感知能力。未来，设备必须越来越智能化。在生产过程中，他们还必须具备分析产品质量和自动管理决策的工作能力，甚至通过自学制造。这是典型的智能制造系统武器装备。孙立宁表示，传感器的功效至关重要，是武器装备智能系统和制造智能系统的关键途径。

孙立宁建议，微结构认知需要从生产制造和日常生活两个方面发展。他认为，微结构元器件和系统软件是智能制造系统和智能生活的关键技术，MEMS已经向小型化、集成化、多用途化、智能化、数字化方向发展。智能机器人+微结构+信息内容和人工智能技术的交叉结合将改变人们的生产、制造和生活习惯。根据这一点，他建议应该完善基础和自主创新的科学研究，处理相关的核心技术。还应建立产业链制造服务平台，确保系统的自主创新和创业创新，创造人才培养与各种自主创新商业模式紧密结合的产业发展服务平台，最终创造合作发展趋势的全产业链和自主创新链。

在社区论坛上，中国科学院院士工程院院士杨树兴以加快MEMS技术发展趋势和惯性力技术的结合为突破口，论述了MEMS惯性力传感器发展趋势的重要现实意义。杨树兴认为，中国MEMS惯性力传感器在理论基础研究、基本加工技术和工程项目样品特性方面取得了进步，但在一些高级行业，手机陀螺仪在特性可靠性、品率、稳定性、成本等方面与国外仍有很大差异，需要进一步提高。

值得注意的是，中国兵器工业集团聘请专家教授高文还在演讲中提到了高精度手机陀螺仪。虽然MEMS手机陀螺仪还处于科研阶段，还没有商品，但其发展前景早已显现。高文认为，管理中心轴对称陀螺将成为新一代MEMS陀螺图片的发展趋势；MEMS角速度积分陀螺图片将达到导航栏级精度，有可能争夺中低档光纤陀螺商品的销售市场；在我国，MEMS角速度积分陀螺图片(不包括石英石半球形陀螺图片)的科研成果早已走向世界前列。