提高半导体制程洁净度 HC管线用加热器设计再创新

因应先进半导体制程对洁净度、可靠度愈来愈严苛的要求，Heateflex近期推出新型HC管线用投入式加热器，以及输入歧管可360度旋转的液体加热器/混合器。此两款产品体积小并完全采用铁氟龙(PFA)浸湿表面，能使液体于最短时间内达到设定温度，且让温度均匀分布。

Heateflex总裁暨执行长JorgeRamirez表示，此两款产品体积精巧，为该公司超高纯度加热设备产品线的新成员，可满足半导体产业的复杂需求，包括高可靠性与制程纯净度。

据了解，新型HC管线用加热器包含特殊的内部装置而毋须使用封胶，可增加产品可靠度。加热管上的顶焊管帽可取代O型环，防止可能的微粒污染。此加热器的核心为轻量、全PFA浸水面的特制加热线圈。此专利加热元件可对制程需求快速反应，轻量的特性让加热器能均匀导热，在短时间内达到设定的温度。新型HC管线用加热器提供各种规格，输出范围为2～10kW，使用电压范围为120～480V。

另一方面，新型HC管线用加热器/混合器，将混合功能与一般管线用加热器的功能与优点结合，精巧体积可加热并混合液体，适用于小空间厂房使用。混合器能以不同的流动速率混合最多三种不同液体，而内部挡板与加热元件的结合能将液体均匀混合并加热后输出。HC加热器/混合器的输入歧管可360度旋转，可满足特殊的配管需求，并以垂直或水平的安装方式节省空间。