尽管国内晶圆代工大厂中芯国际近几次财报法说会，均未透露7纳米以下先进制程进展，且执掌技术研发的共同CEO梁孟松也鲜少在法说会上，着墨先进制程推进近况，但根据研究机构TechInsights最新拆解报告赫然发现，中芯似乎已成功导入7纳米制程替MinerVa Semiconductor新品矿机代工SoC，MinerVa更在官网上表示该产品MinerVa7已从2021年7月起量产。
据SemiAnalysis取得TechInsights细部分析报告指出，中芯国际采用的是类7纳米节点、N2制程技术，号称已是成熟的7纳米技术，并非中芯国际前一代的N1制程，而该公司替MinerVa生产矿机SoC，目前业已低调出货，MiverVa官网上更以7纳米制程为其宣传重点之一。
虽说TechInsights拆解分析认为MinerVa7系采中芯国际7纳米节点、N2制程代工，但中芯方面至今没有正式回应。
事实上，中芯业已推进到7纳米时代的消息，也是意外从TechInsights拆解报告获悉，该公司会不定期采购公开市场上的芯片，送回公司实验室，透过逆向工程技术，取得该芯片技术拆解分析。
美国前总统川普政府时期锁定中芯国际，施压ASML无法出货极紫外光(EUV)系统给国内，阻断国内业者向7纳米以下先进制程推进的能力，又于2020年底，将中芯列入贸易黑名单，遭美国商务部祭出10纳米以下先进制程相关设备禁售令。
不过，监于美国先进制程设备出口管制动作，梁孟松也曾在2021年法说会上坦承，遭美列入贸易黑名单之后，10纳米以下先进制程开发受阻。但假使TechInsights拆解报告中芯7纳米业已出货所言属实，即便只是少量出货，也足以在象徵意义上，挫败美国防堵国内半导体发展的企图。
值得注意的是，中芯国际另一共同CEO赵海军虽多次主持法说会、对外界沟通，但日趋低调的梁孟松更衔命，在成功带领中芯前进14纳米FinFET制程后，积极推进7纳米以下先进制程。
梁孟松先前曾透露，中芯的14／12纳米以及类7纳米节点N+1制程，均已进入量产，新一代7纳米制程原本预计2022年投入风险量产。尽管近来中芯并未表态7纳米时代推进现况，但中芯似乎并未放弃，改采鸭子划水、低调行事。
诚然，除了EUV微影机以外，中芯现阶段其实几乎取得可以拿到的所有型号曝光机台，也包括台积电在量产第一代7纳米制程使用的深紫外光(DUV)系统，透过DUV系统的193nm氟化氩浸润式扫描机(ArF immersion scanners)进行多重曝光后，也能缩小线距。
中芯向7纳米以下推进之路上，也借镜台积电第一代7纳米先采DUV曝光，第二代7纳米制程才部分导入EUV微影设备，与三星晶圆代工7纳米制程初始量产，孤注一掷导入EUV曝光的作法迥异。
不过，中芯若想要做到与EUV曝光的13.5纳米波长等效，也就是达到台积电7纳米制程的良率与成本，恐怕还有相当距离，但中芯透过DUV多重曝光、迂回实现7纳米时代量产，恐怕已是现阶段在美方出口管制掣肘下，最有可能的推进之路。
TechInsights释出的细节报告，另处理ASIC Digital Floorplan Analysis，SMIC 7nm Advanced CMOS Process Analysis，以及SMIC 7nm Process Flow Analysis等三报告，认为中芯现阶段的进展，有机会迈向未来整合逻辑与存储器bitcells的真正7纳米制程推进。
责任编辑：张兴民
