中微增资1亿元半导体检测设备厂商

12月29日，中微公司公告显示，公司拟以现金方式向睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“上海睿励”）增资1亿元，认购单价为1.2元股（注册资本）。本次增资完成后，公司持有上海睿励股权比例为20.4467%。 中微公司表示，本次投资上海睿励将使公司能够布局集成电路工艺检测设备领域。此外，中微公司同上海睿励的客户和供应商有高度重叠，通过本次投资，能进一步形成产业链协同效应。本次投资构成关联交易，但未构成重大资产重组。

据悉，中微半导体设备(上海)股份有限公司成立于2004年05月31日，经营范围包括研发、组装集成电路设备、泛半导体设备和其他微观加工设备及环保设备，包括配套设备和零配件，销售自产产品。提供技术咨询、技术服务。

据企查查APP显示，上海睿励成立于2005年，当前注册资本3.10亿元人民币，公司致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，是国内少数几家进入国际领先的12英寸生产线的高端装备企业之一，并且是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业，拥有152条专利。集成电路生产前道工艺检测领域设备是生产芯片的必备设备，检测重点在于检，即检查生产过程中有无产生表面杂质颗粒沾污、晶体图案缺陷、机械划伤等缺陷，晶圆缺陷可能会导致半导体产品在使用时发生漏电、断电的情况，影响芯片的成品率。通过晶圆缺陷检测来监控工艺，可以减少产量损失，提高工艺良率。

据了解，上海睿励正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备，进一步扩大可服务的市场规模。截止2020年11月30日，上海睿励拥有专利87项，软件著作权39项，注册商标8项，作品著作权1项及备案域名2项。