奥松电子6英寸MEMS产线投入运营，成功量产温湿度、气体等传感器芯片

奥松电子官方消息显示，广州奥松电子有限公司（简称“奥松电子”）6 英寸 MEMS 半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、气体等传感器芯片，该生产线的建成投产标志奥松电子成为华南地区领先的 MEMS 半导体传感器芯片生产基地。

据介绍，奥松电子 MEMS 半导体生产线一期工程为 500 纳米 MEMS 半导体工艺制程，已成功量产出温湿度传感器、空气质量传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器等多款优质的芯片产品。

图源：奥松传感

2019 年 3 月，该生产线一期工程立项，2019 年 6 月正式进入施工阶段。经过 6 个月的施工，生产线的基础设施已安装完成。

2020 年，多台步进式投影光刻机、双面光刻机、涂胶显影机、深硅刻蚀机、大束流离子注入机、PECVD、LPCVD、氧化炉、磁控溅射机、探针台、应力测试仪、全自动 RCA 清洗机等先进的自动化生产设备搬入，生产线正式投入运营。此外，根据规划，2021 年生产线二期工程将建成 350 纳米制程工艺 MEMS 半导体生产线；2022 年三期工程将建成 180 纳米制程工艺 MEMS 半导体生产线；总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到 4 万片。奥松电子成立于 2003 年 9 月，是全球少数具有 MEMS 半导体智能传感器全产业链（IDM）的公司之一，主营产品有温湿度传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器、水蒸气传感器等。 

据了解，广州奥松电子有限公司创建于 2003 年，集科研、生产和销售温湿度仪器。奥松以“科技领先，优质高效，顾客至上，遵信守约”的质量方针，立足于温湿度等各类传感器的研发、生产和销售，通过了 ISO9000-2008 国际质量管理体系认证，是国内一流的湿度传感器生产制造基地。奥松技术力量雄厚，自主开发湿敏电阻、湿敏电容、温湿度变送器、光电露点测试仪、手持式仪表等多种产品。目前公司拥有先进的光刻机、镀膜机、湿度标准箱、高低温恒湿箱、高度精密的露点仪等设备。