思达科技推出下一代一体化Per-Pin SMU可靠性测试系统

参数与可靠性测试系统厂商思达科技，今天宣布开始销售冥王星系列测试系统，以满足封装级与晶圆级可靠性测试系统相关的测试需求。这款新的高端测试系统，涵盖了包括HCI、BTI、OTF、TDDB以及EM的可靠性需求。作为下一代的解决方案，冥王星系列可提高测量的精度和效率，符合工程和生产的双重需要。

下一代冥王星系列是一体化的可靠性测试系统，提供了全球行业界二个等待已久的基本能力。首先是per-pin SMU的量测速度降至1微秒；其次是它的完整HCI、GOI和EM一体化可靠性测试验证能力。最多960个的per-pin SMUs支持HCI/BTI可靠性测试，晶体管最多到480个，GOI最多达960个氧化层，EM最多则是480个并行互连。这款新型又独一无二的可靠性测试系统，超越了市场上所有竞争的可靠性系统，用最低测试成本获得最高的测试性能。

此外，四个象限的per-pins SMU具有多量程电压和电流源的量测能力，能够在最短的测试时间内，用最高精度量测纳米器件。配备独立的per-pins SMU，用户可以为内部需求创建定制的测试算法，同时支持未来可靠性验证的测试。冥王星系列的SMU可支持HCI/BTI和GOI，应力电压高达20V。测量每个通道的电流低至10pA。最高达400mA应力电流的纳米级精度EM（电子迁移），具有微伏电压量测精度，可用于电阻低至毫欧姆的纳米互连。

冥王星可靠性测试系统可连接至单独控制的微型机箱模块・用于封装和模块级的不同温度下测试的待测器件（DUT）。思达也拥有最好的多待测器件晶圆级探针台之一，在领先客户中有数十个安装基地，可以无缝集成冥王星per-pin测试仪器，形成晶圆级低至3纳米的可靠性验证。

思达科技首席技术官刘俊良博士说，“长期以来，我们听取了用户对于per-pin SMU可靠性测试系统的意见。为了满足这类需求，思达率先开发下一代冥王星per-pin SMU可靠性测试系统。它支持全范围的纳米制程，以及器件可靠性验证，充分的灵活性让用户可按照自己的需求，开发定制测试的演算方法。这款集成的可靠性开放平台测试系统的高产量和测试能力，将彻底改变可靠性测试行业，用户可以在一个系统中，结合和匹配不同的可靠性测试。思达冥王星可靠性测试系统将大幅降低整体投资，所有半导体晶圆厂的产能规划也能因此更加弹性。”