万业企业获大额设备订单加持 收购Compart填补半导体本土供应链空白

近年来，半导体产业链国产化需求迫切，加快发展半导体产业以及提升产业链国产化比重已上升为国家战略。

在此背景下，跨界“造芯”的趋势愈发明显，大批上市企业向半导体行业转型，而并购无疑是非半导体公司快速切入芯片市场的有效捷径。

在目前众多向半导体行业转型的上市公司中，万业企业（600641）显得尤为突出。公司于2017年出资10亿元作为“上海半导体装备材料产业投资基金”的主要LP之一，2018年100%并购国内领先的集成电路设备离子注入机供应商凯世通，2020年收购全球领先的气体输送系统领域零组件及流量控制解决方案供应商Compart Systems，通过“外延并购+产业整合”的方式，万业企业持续扎实推动公司快速向集成电路产业装备和材料领域的转型，成为A股公司转型半导体行业标杆。

万业企业旗下凯世通获超亿元订单

近年来半导体设备行业备受瞩目，离子注入机是芯片制造的关键装备，满足先进制程需求的高端离子注入装备长期被应用材料（Applied Materials）、亚舍立（Axcelis）等美国龙头所垄断。

凯世通自2018年被万业企业收购后业务全面加速集成电路设备开发，在短短的两年时间内，成为超越7nm技术领先者，在业内可谓是“一鸣惊人”。

据了解，凯世通拥有超越7nm技术的集成电路芯片离子注入机的原创设计与开发的技术及产品，并已经进入了国际市场，这标志着凯世通在先进工艺节点的高端离子注入机技术方面的领先地位。

凯世通的技术和产品同样获得了国内客户的认可。2020年凯世通集成电路离子注入机进入国内12英寸晶圆厂产线验证，同时签署了3台12英寸集成电路设备订单，其中包括低能大束流离子注入机与高能离子注入机，总金额超过1亿元人民币。目前，凯世通已成为国内唯一全领域离子注入机供应商。

相关人士表示，凯世通能在被收购后短短2年内就成为超越7纳米技术领先者及高端装备提供者，主要依靠三大法宝：“有定力的专业化团队、尊重知识产权做原创设计、通用平台与模块化设计”。

凯世通成立于2009年，公司由陈炯博士为首的五位世界知名离子注入设备专家所创立。凯世通创始团队来主要自于Axcelis、Varian、AIBT等知名离子注入机公司，深耕离子注入机30年，在业界工艺技术更新换代之际率先开发过多款畅销离子注入机，主要创新点已成为了行业标配。陈炯于1999年在硅谷创立AIBT公司，成功开发两代低能大束流离子注入机。2009年，陈炯在上海张江创立凯世通，开始打造技术领先的国产高端装备。

尊重知识产权，不做逆向工程，是凯世通一直秉承的经营哲学与价值观，唯有如此才能走出属于中国集成电路的创新发展之路。据悉，凯世通遵循在每一款设备开发之初都会进行详细的知识产权尽调，从设计上规避竞争对手专利，同时布局关键专利自建立保护壁垒。

知识产权是半导体设备最大的门槛之一。半导体设备蕴含着无数复杂设计、产业链合作关系复杂，知识产权往往既包含设计也包括使用方法。客户若采用逆向工程设备制造的芯片会侵犯他人专利，商业利益受到极大损害。

通用平台指不同的离子注入机型共享相同的注入平台硬件和软件控制系统，模块化设计允许对离子源、质量筛选器、加速器、减速单元等核心模块进行不同的组合。硬件是半导体设备的基础，设备及工艺控制是半导体设备的灵魂。凯世通的通用平台凝结了团队30年来花费上亿美元、从每一代半导体芯片技术迭代的研发与生产实践中积累的结晶，并结合当下新需求加以改进，才能使产品在客户端快速稳定。

对市场需求的敏锐性，并凭借自身的高度专业使得凯世通快速获得客户订单。据行业人士透露，目前凯世通已经实现国产离子注入机的全系列产品覆盖，这既印证了凯世通设备的产品竞争力及核心技术具备全球顶尖的实力，也增强了公司在集成电路装备领域核心竞争力，同时进一步丰富扩大凯世通产品的覆盖范围和供货能力，从而更迅速地向全球芯片制造工厂提供产品。同时凯世通拥有原创超越7nm先进工艺的技术能力，将为芯片制造向更高工艺制程发展提供设备支持。

有分析指出，随着凯世通自主研发的多个型号集成电路离子注入机设备获得商用推进，万业企业的投资价值和潜力进一步凸显，业务潜力有望进一步释放。

收购Compart Systems 填补本土供应链空白

万业企业的潜力不限于此，外延式发展战略也是其重要的工作目标。

自2018年起，万业企业先后通过上海半导体装备材料基金投资华卓精科、上海精测、上海御渡等多家产业内优质半导体企业。2020年10月，万业企业旗下凯世通入股芯链融创，领投北方创新中心助力产业生态完善。另外，万业企业还对安徽富乐德科技发展有限公司进行了战略投资，从而布局集成电路洗净设备领域。

2020年12月22日，万业企业领头境内外财团完成全资收购全球领先的气体输送系统领域零组件及流量控制解决方案供应商Compart Systems Pte. Ltd.（以下简称“Compart Systems”）。此次收购交易基准价格为3.98亿美元，为近年来该领域最大规模的中资企业跨境并购交易。其中，万业企业投资6亿元人民币，拥有Compart Systems的33.31%股权。

Compart Systems总部位于新加坡，在中国深圳和马来西亚库林分别设立工厂，全球拥有约1400名员工，是半导体行业气体输送系统领域全球领先的零组件制造商，可提供高价值的气体输送零部件、组件、密封件、气棒总成、质量流量控制器（MFC）等。

据了解，由于化学气体产品的特殊性，半导体工艺中氧化/扩散、蚀刻和沉积工艺需要用到精确的气体输送系统，以确保工艺纯度和提高安全性。Compart Systems是目前全球少数能够为半导体客户提供气体流量控制器（MFC）组装的公司。

同时，Compart Systems也可为半导体、工业、航空航天、石油天然气领域内客户提供包括高精度金属加工部件，质量流量控制器、控制阀组件等产品，客户群体覆盖全球知名设备制造商和领先的工业企业，包括Ichor、UCT、Applied Materials、Emerson Electric、Pivotal、Entegris等气体传输系统和半导体行业设备厂商，是主要半导体设备制造商和工业集团的长期合作伙伴。

据相关报告显示，目前中国本土集成电路设备由平均数千种零组件构成，平均国产化率为10%-30%，核心关键零组件几乎为零。万业企业收购Compart Systems将有助于提升集成电路设备所需的气体输送系统及高精度流量控制等领域核心组件与部件的国产化率，填补本土相关供应链空白领域。

万业企业表示，公司将借助本次交易抓住产业发展的历史机遇，通过自主研发与外延式并购双轮驱动，延伸布局高端装备产业链，增厚对集成电路装备行业覆盖深度和广度，进一步深化公司战略转型。

从万业企业的产业布局来看，专注集成电路产业装备和材料领域，在最关键、最核心的技术领域填补国内空白，加速国产化布局是其转型升级的重点。

目前，万业企业已成长为集成电路装备领域的平台型公司，同时拥有国际和国内丰富的产业资源，无论是在集成电路设备商业化突破，还是开展外延式并购，均拥有良好的布局，为公司集成电路业务多元化发展奠定了坚实的基础。

业内人士指出，可以预见的是，出于对供应链的安全考量，国内晶圆厂、设备厂商对国产设备、零部件的采购意愿大幅增强。伴随着国内晶圆厂大幅扩产，国内集成电路设备需求将持续增长，万业企业旗下的集成电路业务有望受益于新一轮晶圆制造投资，获得更具成长性的市场发展空间。