上海启动８英寸超越摩尔研发中试线

海启动8英寸“超越摩尔”研发中试线

新华社上海9月10日电（记者王琳琳、刘畅）10日，由上海微技术工业研究院建设的8英寸“超越摩尔”研发中试线正式启动，填补了我国微机电系统智能传感器领域缺乏小批量中间性试验生产线的空白。

随着硅的工艺发展趋近于其物理瓶颈以及成本制约，业内专家认为，“超越摩尔”时代已经来临，传统摩尔定律或将面临颠覆，将不再局限于依靠尺寸改变去推进集成电路制程节点，材料、工艺、结构等多维度的创新更加重要。

微机电系统智能传感器，是一种新型传感器，具有小体积、低成本、集成化、智能化等优点，领跑传感器飞速发展。

传感器，位于整个物联网的基础层，是数据采集的入口，也是物联网的基石。据《2016-2017年中国物联网发展年度报告》，目前我国约60%的传感器依赖进口，微机电系统智能传感器几乎全部依赖进口。

中国科协副主席、上海微技术工业研究院创始人王曦院士认为，要摆脱微机电系统智能传感器对进口的严重依赖、实现我国芯片产业的自主可控，当务之急是要建自主的8寸研发中试线。

8英寸研发中试线厂长游家杰说，我国微机电系统智能传感器科研实力并不弱，没有开发出领先产品是因为中试环节出现了断档。

游家杰介绍，新建成的研发中试线，目前规定产能是每月生产3000片左右晶圆，后期将达到5000片。“我们可以支撑用户从几百片到上千片的产能需求，小规模订单先在中试线上孵化，一旦前期市场测试成功，就可以把大批量订单转移给大型代工厂，开始规模量产。”

据介绍，目前，研发中试线专注于微机电系统智能传感器研发，未来将拓展至“超越摩尔”新型非数字、多元化半导体产品技术的创新，例如，高压器件、生物医疗晶片等。