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来源:精实新闻发布时间:2013-10-0466浏览
询问 AI台积电(2330)今(3日)首度开放媒体参观南科Fab 14的超大晶圆厂及无尘室的先进制程等设备,也引发市场关注台积明年在20奈米量产后、年底紧接着将开始16奈米试产,要如何在一年内完成这样的制程转换?对此台积电代理发言人孙又文(见附图)指出,20与16奈米制程,当中有95%都是采用相同的机台设备,所以制程的机台转换不会是一个很大的问题。而台积也不认为20奈米只会有一年的寿命,仍维持台积20奈米前两年的出货量,可望与28奈米前两年出货量相当的看法。
她表示,16奈米跟20奈米制程技术的最大差距,就是在Transistor的结构上,从Planar转换成FinFET,因此台积认为,16奈米制程为20奈米的延伸,而台积当初的投资计划,也是把20与16奈米算做一个整体。
孙又文表示,台积在20和16奈米制程之间仍有一年的学习期,从20奈米开始台积就能够针对双重曝光(double-patterning)技术提早练兵,进入16奈米唯一的改变只有晶片结构(从Planar到FinFET)的转换。因此,经过一年的学习期,一旦台积的16奈米制程开始量产,相信会比对手的14奈米来得稳定。
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