世界光刻机巨头ASML“握手”无锡

5月，全世界著名光刻机生产研发公司荷兰阿斯麦（ASML）公司与无锡高新区管委会签署战略合作协议，未来阿斯麦公司将在原有基础上对资源进行整合提升，加速扩建光刻设备技术服务（无锡）基地。

光刻机，又名掩模对准曝光机，是制造大规模集成电路的核心装备。作为“芯片之母”，其对某个国家或地区的集成电路产业具备重要的发展支撑作用。阿斯麦公司与无锡“握手”，将为江苏集成电路产业带来哪些新变化？

“这是阿斯麦与无锡第二次‘握手’。”阿斯麦全球副总裁、中国区总裁沈波说，2006年，阿斯麦公司在无锡布局建立光刻设备技术服务基地，经过多年的“深耕细作”，如今，阿斯麦无锡基地是中国规模最大的光刻设备技术服务基地，成为华虹、SK海力士等一批重点集成电路企业光刻机的供应商。

此次阿斯麦实施（无锡）基地升级扩建，将拥有近200人规模专业团队的技术中心，从事光刻设备的维护、升级等技术服务，为设备安装，升级及生产运营等所需的物料提供更高水准的物流支持。项目建成后，将更好地满足无锡乃至江苏集成电路产业的发展需求。

目前，我国集成电路产业正处于一个非常时期。“阿斯麦光刻设备技术服务的引入与此时扩建，有着非同一般的重要意义。”有专家表示，无锡是最早布局的集成电路产业基地之一，近年来，在国家和地方政策的重点支持下，无锡先后引入华虹基地、海力士二工厂等一批重大产业项目。去年，无锡集成电路产业产值达到1178亿元，增长8.3%，位居全省第一、全国第二。专家坦言，江苏集成电路产业在国内起步早，并形成了一定的产业规模，但在集成电路产业的上游，无论是光刻设备，还是集成电路设计和高端电子化学品方面，仍是一条“短腿”，亟待补齐产业链，提升产业自主创新力和国际竞争力。

“阿斯麦公司与无锡再度‘牵手’，标志着我省集成电路产业有深厚的产业基础。”江苏省半导体行业协会相关人士透露，目前，我省集成电路产业已迈入加速阶段，正“奋勇向前”；去年8月，镇江首台光刻机开始服役制造芯片；今年5月20日，盐城总投872.7亿元项目签约，涵盖台湾半导体光刻机、集成电路；6月1日，江阴集成电路设计创新中心揭幕。

据介绍，阿斯麦公司无锡技术服务基地还将服务江苏乃至整个长三角地区。目前江苏先进制程（28nm及以下）半导体工厂有南京台积电工厂、无锡SK海力士DRAM工厂等。其中，华虹半导体无锡基地12英寸生产线实现了高性能90nm FSI工艺平台产品投片。