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来源:OFweek电子工程网发布时间:2021-02-26137浏览
询问 AI据路透社报道,全球存储芯片巨头SK海力士于当地时间周三表示,已与全球曝光设备生产大厂ASML签订一项为期5年,价值4.8万亿韩元(约43.4亿美元)的采购合约。据悉,此举是为芯片制造确保足够数量的EUV光刻机。SK海力士在一份监管文件中称,这笔交易是为了实现下一代工艺芯片量产的目标。
今年2月1日,SK海力士位于韩国首尔南部利川市的M16新厂已经竣工,SK海力士将首次使用极紫外辐射(EUV)光刻机在生产存储芯片。
据悉,SK海力士的M16工厂斥资35万亿韩元,是目前SK海力士旗下最大的工厂。该工厂已经安装完成首条EUV生产线,预计将自2021年下半年开始正式量产第4代10纳米级(1α)DRAM内存。
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