寻找中国创新榜样 上海微电子“智”造中国芯

　　随着信息产业的发展，集成电路（也就是常说的“芯片”）成为手机、平板电脑等电子移动终端离不开的设备，而光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备。以光刻机为代表的高端半导体装备支撑着集成电路产业发展，芯片越做越小，集成的电路越来越多，能使终端变得小巧玲珑。

　　在光刻机领域，上海微电子装备有限公司（下称“SMEE”）取得了重要突破，并在先进封装光刻机产品方面形成了系列化和量产化，在国际同类产品中处于先进水平，还实现了光刻机海外市场的销售突破。SMEE也被列入国家发改委2016年1月底公布的国家认定企业技术中心名单。

　　在微观世界里“造房子”

　　近日，在浦东张江园区SMEE展览馆里，SMEE人事总监贺跃进向《中国经济周刊》记者介绍了组成光刻机的核心部件。他将制造光刻机比作是在微观世界里“造房子”——成像系统由几十个直径为200~300毫米的透镜组成，定位精度都是纳米级。微米级的瞬时传输控制技术，犹如两架空客以1000/小时公里同步高速运动，在瞬间对接穿针引线；玻璃镜面加工等精度，误差不会超过0.5毫米。

　　SMEE总经理贺荣明接受《中国经济周刊》记者采访时表示，光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价值量最大的部分，由于技术的超高难度导致在全世界形成了超高的技术门槛。

　　据了解，当今世界能够拥有这种技术、生产这种产品的只有两三个国家的两三家公司。贺荣明表示，集成电路行业发展的很多技术路线、工艺路线是非常依赖于光科技的发展路线，所以从这个角度，它就成为信息产业集成电路行业发展的重要基石；从另一个角度来讲，我国正在进行大的结构调整，对集成电路产业提出了非常高的期待与要求，不仅涉及到整个国家的产品结构调整发展，从某种程度它也涉及到整个信息产业的安全，所以如何在集成电路行业拥有自己的核心装备，对国家国民经济的发展就至为重要。

　　光刻机是集成度非常高，涉及的门类、领域、科技种类非常广泛的集成性的设备，由于这种设备的发展会牵引带动很多关键单元技术、子技术、子学科的发展，“牵一发而动全身”，它可以牵引推动整个高科技基础领域的发展。

　　据了解，以光刻机为代表的产品主要应用于四大领域，芯片制造、芯片先进封装、LED制造、下一代显示屏制造。另外还有类光科技产品，包括激光封装、激光退火等设备，去年开始在试验，今年逐步开始小批生产，未来为移动穿戴、智能时代提供产品。

　　贺荣明表示，光刻机的自主研发可以概括为一个“难”字，“因为难，有时候就逼着你没有后路背水一战去创新。”任何一个行业的发展，特别是高端装备的发展，其实最重要的还是人才，光刻机人才与其他行业相比，涉及面更广，有几十个专业，所有的技术在这个产品上汇聚、交杂，形成异常复杂的设备，对人才的广泛性、多样性提出更高要求。