传台积电今年将购入18台EUV光刻机

2月12日消息，台积电将包揽ASML今年的30台EUV光刻机中的18台，加上之前采购的几台，台积电有望在今年3月份启动7nm EUV的量产，推动7nm在其2019年晶圆销售中的占比从去年的9％提升到25％。

目前，ASML现款EUV光刻机Twinscan NXE： 3400B报价约1．2亿美元（约合8亿人民币），也就是说台积电订购的这18台EUV光刻机总价接近150亿元。

此外，台积电还计划在今年第二季度启动5nm工艺的风险试产，值得注意的是，5nm必须采用EUV工艺才能够实现。