从败走光刻机到集体造假，什么才是日本半导体的隐疾？

1984年，一部名为《1984》的广告片震撼世界，苹果公司通过这部广告片为第一代Mac造足了势，个人电脑从此与人们的生活变得密不可分。在大洋彼岸的另一边，日本半导体做的如火如荼，承包了蓝色星球上80％的DRAM产量，本土几乎每家大公司大财阀都进入了半导体业，半导体的腾飞，带动了整个产业链的崛起，光刻机就是其中之一。

（苹果1984广告片）

此前光刻机属于小众“玩具”，从事这个行业的更是寥寥无几，日本的尼康和佳能是最早进入这一领域的玩家。这一年，尼康代表着日本光刻机的最高水平，开始了碾压美国竞争对手，尼康在硅谷成立尼康精机，犹如一把尖刀刺入美国高科技行业的心脏，尼康的美国对手PerkinElmer（铂金埃尔默）受到冲击，市场份额从超过30％跌到不足5％，直到最后完全放弃半导体设备业务，另一家竞争对手GCA的大客户IBM、AMD、TI和Intel等，排着队跑向尼康，从与GCA平分秋色，再到占山为王，成为绝对的巅峰，尼康只用了不到五年。

与此同时，远在荷兰的一家名不见经传的的小公司ASML却身世坎坷。当时的飞利浦经济很糟糕，想将不赚钱的业务卖出去，光刻业务是其中之一，令飞利浦头疼的是找了一圈也无人愿意接手这烫手山芋。最后有家荷兰小公司叫ASM International的老板Arthur Del Prado听说有这么回事，主动提出与飞利浦五五开设立合资公司，ASML这才算正式有了着落。

草创时期的ASML有着许多创业公司都经历过的辛酸，员工只有31人，工作场所是飞利浦大厦外边的简易房，更为凄惨的是，在成立的第一年只卖出去了一台机器，这种小角色的困苦对于ASML是往后十几年的常态。韦尼克（Peter Wennink）回忆公司初创时的境况，还忍不住说“穷困”，一句话：既没钱，又受对手压制。

山巅上的日本半导体

推动日本半导体产业链大爆发的两大引擎，一个是DRAM，另一个是面板业务。80年代的日本在DRAM上不仅拥有最先进的技术，还拥有最大的市场份额，面板业务也是如此。

日本厂商作为TFT－LCD产业的最早进入者，在很长一段时间内扮演着领导者的角色，1988年，夏普推出全球首台14英寸液晶显示器，伴随着TFT－LCD的工业在日本的建立，日本发展出一大批平板显示的上下游企业，日本的平板制造供应链体系要强于其他任何国家，包括几乎所有必要设备和材料的供应链上的每一个环节，都至少有一家企业参与。

比如：

（1）日本旭硝子和电气硝子为液晶平板提供玻璃基板；（2）尼康和佳能提供扫描式光刻机和步进式光刻机；（3）NEC－安内华制造干法刻蚀设备；（4）日本电工制造彩色滤光片和偏光片；（5）大日本印刷和日本凸版印刷株式会社提供先进的平板印刷设备；（6）日本真空技术株式会社提供透明导体的ITO导电膜；（7）佳能提供镜像投影系统等等；

即使在日本企业不是很强的地方，比如液晶化学品，化学气相沉设备（CVD）、液晶驱动芯片和高性能玻璃等，外国企业也把他们的半导体业务设在日本或者和日本企业结成联盟，以管理他们的半导体业务，日本俨然已经成为新工业的温床。

关键一役

从80年代起，20世纪的后20年都是日本半导体的天下，日本的光刻机牢牢占据光刻市场的天王山，在各项数据统计中ASML只能被归为other，尼康代表了当时最高的光刻技术。然而，这一最高光刻技术却卡在一个关键环节长达20年，也是这一关键环节让尼康与ASML来了个大翻转。

光刻机的分辨率决定了IC的最小线宽，想要提高光刻机的成像分辨率，通常采用缩短曝光光源波长和增大投影物镜数值孔径两种方法。在光源的改进方面，光刻机经历了第一代是436nm g－line；第二代是365nm i－line；第三代是248nm KrF；第四代193nm ArF，但谁也没想到瓶颈出现了，始终无法将光刻光源193nm波长缩短到157nm。

当时为了突破193nm方案，包括英特尔，英飞凌等各方势力都在各个方向寻求突破，尼康押注技术难度更高的157nm F2，英特尔携一众美国企业押注13．5nm EUV LLC，此时ASML依然是个小配角，不过，它通过一个特殊的途径搭上了英特尔阵营的列车。

ASML以16亿美金收购了只有10亿市值的硅谷集团（SVG），当时的SVG可谓是奄奄一息，年营业额只有2．7亿美元，光刻制程还不如ASML，市场一片不看好这次收购。他们没看到的是ASML只是想买一张船票，一张登上英特尔阵营的船票，一张足以威胁到尼康的船票，SVG拥有最成熟的157nm光学技术，并且当时是英特尔的供应商，收购SVG之后，ASML就可以拥有等同于尼康的技术，顺势加入英特尔的阵营。

福无双至今日至，ASML加入英特尔阵营之后，又迎来一件改变命运的喜事，193nm方案被台积电的研发副总林本坚以一种相当巧妙的方式突破了，林本坚找遍了各大企业，却都无人看好，包括尼康，尼康始终沉浸在自己的世界。林本坚来到ASML后一拍即合，后来又与英特尔和台积电组成最强阵营。尼康也宣布自己的157nm产品以及EPL产品样机完成，然而，林本坚的方案属于小改进大效果，产品成熟度非常高，所以几乎没有人去订尼康的新品。尼康被迫随后也宣布去做浸入式光刻机，但是为时已晚，ASML已经占据先行优势，又拿下英特尔这家最大的客户，英特尔在新制程中停止采购尼康的光刻机给了尼康致命一击。