“凝“芯”聚力、“智”创未来”，第四届中国MEMS智能传感器产业发展大会开幕

“凝“芯”聚力、“智”创未来”，蚌埠MEMS更“徽”煌

当前随着科技革命和产业变革，MEMS传感器正被广泛应用于各类智能终端、智能汽车、生物医疗等众多领域，需求量与日俱增，应用前景十分广阔。

作为中国三大传感器研发制造基地之一，蚌埠拥有华东光电集成器件研究所（中国兵器工业集团214所）、希磁科技、北方芯动联科等一批智能传感器研发设计制造企业，组建MEMS联合工程实验室等一批省级以上重大研发工程，成立了安徽省智能传感器产业创新联盟，组建“智能传感器制造业创新联盟”。

近年来，蚌埠依托华东光电集成器件研究所的技术优势和产业化优势，连续出台扶持政策，建成了MEMS核心器件产业化基地，产品包括MEMS加速度传感器、陀螺仪以及高温高精度压力传感器等；形成了智能传感器研发设计、工艺加工、封装测试和应用的完整产业体系，成为安徽省唯一同时拥有集成电路及MEMS生产线的城市。

2021年4月23日，2021年第四届中国MEMS智能传感器产业发展大会暨企业家论坛在安徽蚌埠召开。从2017年到2019年，MEMS智能传感器产业发展大会已经连续举办了三届，2020年受新冠疫情影响大会按下了暂停键。

第四届大会以“凝“芯”聚力、“智”创未来”为主题，旨在发挥蚌埠地域汇集国家高科技研究所的优势，引领中国MEMS智能传感器和集成电路产业发展，深入探讨MEMS产业发展，推动业界合作交流，共赢MEMS产业新机遇。

中国工程院院士、清华大学副校长尤政通过视频对大会致辞，他表示以MEMS为核心的智能传感器技术是现代科技前沿，也是新一代信息技术的支柱之一。目前我国MEMS产业正走向发展快车道，拥有一批敢创敢干的技术专家和创新精英，涌现出一批有担当、有作为的明星企业，我们也清醒地认识到目前与发达国家的差异，我国中低端传感器自动化水平较低，高端传感器市场大部分还依赖进口，缺少自主创新的核心技术与产品，关键设备、核心原材料卡脖子问题依然严峻。

安徽省副省长、人工智能产业链链长张红文在致辞中表示，MEMS是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉前沿研究领域，也是未来传感器发展的主要方向，经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一，随着5G、物联网时代到来，MEMS智能传感器正逐步取代传统产品，广泛应用于各类智能终端、智能汽车、生物医疗等众多新兴领域，在新一代信息技术、人工智能、智能装备等领域的基础性支撑作用日益凸显，已经成为关乎国家核心竞争力和产业链、供应链安全的重要领域。

蚌埠市委书记黄晓武在致辞中表示，蚌埠将以此次大会为契机，全面加强政、产、学、研合作，大力实施256科创体系建设，全力构建集成电路核心产业集群和完整产业生态，加快打造具有国际一流创新能力的中国传感谷。

中国工程院院士、中国兵器首席科学家、中国兵器工业第二〇三研究所总工程师杨树兴，中国工程院院士、合肥工业大学杨善林，南京大学物理学院副教授王漱明，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事长、苏州大学机电学院院长孙立宁，中国兵工业集团器特聘首席专家高文等到会并进行主旨报告演讲。

杨树兴院士在题为《MEMS惯性传感器在弹箭领域的应用》的主旨报告中以MEMS技术发展和惯性技术融合作为切入点，阐述了MEMS惯性传感器在国内外弹箭领域的研究背景和意义，并结合典型应用和指标体系需求分析，从五个方面对MEMS惯性传感器在弹箭领域的应用面临的挑战和关键技术进行探讨，并认为随着工艺技术的不断进步，性能将不断提高，应用领域也会持续拓展，大规模工程使用的性价比会越来越高，必将在弹箭类武器小型化、制导化、信息化、智能化的发展过程中展现出更大的优势和活力，也为未来更广泛和更深入的应用研究指明了发展方向。

杨善林院士在题为《互联网与工业互联网》的主旨报告中表示，工业互联网不是简单的“互联网+工业”，以MEMS技术为主的智能传感器是物联网、大数据、智能制造、机器人等新兴产业的核心关键技术之一，也是构建物联网的重要支柱。杨善林院士强调，工业互联网引发产业价值链、产品系统构造、生产方式、制造资源组织方式、服务模式的重大变革，对工业企业的技术创新体系提出重要挑战。工业互联网是工业设备与人之间，通过一组工业通信协议连接起来，借助网络操作系统和网络管理软件等，实现信息传递与共享，从而形成的互联网络。在工业互联网发展初期，要在标准体系、情感感知、通信互联、制造智能、人机协同、基础技术等方面取得理论与技术突破，建立支撑系统制造模式创新和商业模式创新以及企业生态系统的平台。

王漱明副教授在题为《超构表面与超构透镜-MOEMS的新机遇》的主旨报告中分享了超构表面与超构透镜国际最新研究和应用场景，并提出了超构透镜与MEMS相结合的技术发展新思路，为MEMS技术扩展应用打开了更多的探索空间。

孙立宁在题为《智能感知助力智能制造产业创新发展》的主旨报告中首先给出中国为什么要发展智能制造。作为一个制造大国，一是制造能力不强，还存在创新的空间；二是劳动力成本不断提高，必须寻求新的制造模式。孙立宁从智能制造与智慧生活引出MEMS发展现状与进展、趋势，并提出发展建议，他认为微纳器件与系统是智能制造与智慧生活的核心技术，MEMS向微型化、集成化、多功能化、数字化、网络化方向发展，机器人+微纳+信息、人工智能交叉融合会改变生产和生活方式，微纳器件与系统，形成巨大产业。加强基础与创新研究，解决共性关键技术。建立产业制造平台，机制创新，创新创业，打造人才培养、多种模式创新创业与产业化平台，形成产业链、创新链。

高文在题为《高性能MEMS传感器工艺技术及MEMS角速率积分陀螺的最新研究进展》的主旨报告中从高性能惯性器件的特殊工艺要求开篇，阐述了214所关键技术突破和最新研究进展，并对国内外高性能器件作了性能对比，对MEMS陀螺仪的未来发展方向进行了展望。

祝福蚌埠MEMS的发展更“徽”煌！