17亿美元购买荷兰半导体设备！高端EUV光刻机何时到货？

3月7日，中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司从从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区。根据中芯国际近期发布的公告，其已经花费17亿美元分别向泛林团体、应用材料、以及东京电子购买半导体设备。

其中，向泛林团体发出的购买单总金额约6亿美元;应用材料购买单的总金额为5.43亿美元，东京电子购买单总金额应用材料购买单的总代价为5.43亿美元。

据悉，这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。内部人士认为，中芯国际生产线扩容后全年预计可为企业增加10%左右的营收。

从中芯国际的表态来看，他们持续采购设备的目的就是“继续扩大产能”，目前中芯国际急迫的产能除了8英寸之外就是14nm这样的先进工艺。根据中芯国际联席CEO梁孟松的说法，14nm(包含改进型的12nm工艺)月产能将在今年3月达到4K，7月达到9K，12月达到15K。中芯国际的14nm产能在15K晶圆/月之后应该不会继续提升了，还有更新的工艺。除了14nm及改进型的12nm工艺之外，中芯国际的N+1、N+2代工艺也会陆续在今年底开始试产，相当于台积电7nm低功耗、7nm高性能工艺级别，未来一两年也会是产能建设的重点。

方正证券分析师认为，光刻机陆续搬入， 下半年收入增长值得期待。光刻机搬入厂区后，预计大约5个月后开始贡献营收。我们判断本次搬入的机台将在大约5个月后投入生产(实际投入生产时间根据装机进度而定)，扩产完成后深圳厂区8寸产能有望达到60k wpm(4Q19 财报中为55k wpm)，届时将为中芯国际深圳厂区增加约10%的营收。分析师认为半导体行业已处于上行周期，中芯国际2020年将重启增长，同时先进制程研发进展顺利。

目前国内重大晶圆制造厂主要有中芯国际、华虹半导体、长江储存、合肥长鑫。中芯国际是我国第一大晶圆制造厂，2019年3Q实现799百万美元营业收入，在全球位居第5位。据官网介绍，中芯国际集成电路制造有限公司及其控股子公司是世界领先的集成电路晶圆代工企业之一，也是中国内地技术最先进、配套最完善、规模最大、跨国经营的集成电路制造企业集团，提供0.35微米到14纳米不同技术节点的晶圆代工与技术服务。

中芯国际总部位于上海，拥有全球化的制造和服务基地。在上海建有一座300mm晶圆厂和一座200mm晶圆厂，以及一座控股的300mm先进制程晶圆厂在建设中;在北京建有一座300mm晶圆厂和一座控股的300mm先进制程晶圆厂;在天津和深圳各建有一座200mm晶圆厂;在江阴有一座控股的300mm凸块加工合资厂。中芯国际还在美国、欧洲、日本和中国台湾设立营销办事处、提供客户服务，同时在中国香港设立了代表处。

中芯国际是世界领先的集成电路芯片代工企业之一，属于集成电路制造企业，要确保全年365天*24小时工厂不间断生产。目前，中芯国际已经实现90%以上的复工率，各条生产线、研发线实现100%运行，产能预计于一季度实现满载。春节期间，生产线上的工作人员采取四班二轮的轮岗制度继续生产，研发部门采取各级值班制度，辅助部门维持部分后勤保安和餐厅厂商在岗，保证了厂研发与运营的持续进行。

中芯国际四季度也向市场交出了一份相对不错的答卷。作为14纳米工艺量产后的首份财报，其可圈可点之处不单单只体现在一点上。根据中芯国际2月14日发布的四季度财报，本季度的营收达到8.39亿美元，同环比均有增长。同时，由于产能有所提高，毛利同比增长了48.7%，毛利率上升6.8个百分点。

根据财报，在接下来的一段时间内，中芯国际将持续推动14nm产能和订单的增加，这次的FinFET14纳米作为第一代产品成效初显，营收占比达到1%，在后续会推出第二代。

2000年，张汝京在上海创立集成电路芯片代工企业中芯国际，大约有300多名半导体工程师随其北上，其中不少是他在德州仪器和世大时的旧部。在坐稳内地代工老大哥的位置后，2017年年底，中芯挖来了梁孟松，他的加入，被业界认为“对中国半导体行业具有划时代意义”。

梁孟松其人，在台积电任职时期个人参与发明的专利半导体技术就有181件，且全是最重要先进工艺的技术研发。出走到三星后，更是带领三星晶圆代工直接从28nm制程升级到14nm，还领先台积电半年实现了量产。到中芯后，梁孟松手脚大开，在迅速提升中芯28nm芯片良品率的同时，还主导从荷兰买来了最先进的光刻机，将14nm芯片良品率瞬间提升至95%。

另外，众人关心的是，2018年5月，中芯国际曾向荷兰阿斯麦尔(ASML)订购了一台最新型的EUV光刻机，价值高达1.5亿美元。在全球光刻机生产厂商中，荷兰的ASML(阿斯麦)是唯一一家能够生产EUV光刻机的厂商。EUV光刻机原计划在2019年初交付。不过，由于美国方面阻扰，这项交易至今仍未完成。

那么，光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，为世界上最尖端的技术之一，目前只有少量国家掌握。此外，光刻机的价格非常昂贵，一台高端的光刻机甚至可以卖到6亿元左右，光刻机是半导体行业之母。

目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家：ASML、尼康(Nikon)和佳能(Canon)。 根据2007年的统计数据，在中高端光刻机市场，ASML占据大约60%的市场份额。而最高端市场(例如沉浸式光刻机)，ASML大约目前占据80%的市场份额。荷兰的ASML(阿斯麦)是一家总部设在荷兰艾恩德霍芬(Veldhoven)的全球最大的半导体设备制造商之一，向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。

中芯国际为什么非得买荷兰阿斯麦公司的EUV光刻机呢?因为在进入7nm节点之后，光刻机也需要升级到EUV光刻机，目前仅有荷兰ASML公司能造，该公司CEO表示EUV光刻机非常复杂，没有可能被复制，全球只有ASML能生产。

日前韩媒报道称，ASML公司正积极投资研发下一代EUV光刻机，与现有的光刻机相比，二代EUV光刻机最大的变化就是High NA(高数值孔径)透镜，通过提升透镜规格使得新一代光刻机的微缩分辨率、套准精度两大光刻机核心指标提升70%，达到业界对几何式芯片微缩的要求。