【半导光电】高速850nm垂直腔面发射激光器的设计与研制（六）

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4.热分布对 850 nmVCSEL高速调制特性的影响

本章首先介绍了小氧化孔径 VCSEL 自热效应对高速特性的影响，以及下台面 AlGaAs 材料的热扩散性能。然后设计并制备了四种不同下台面直径的高速850nm双台面同面电极 VCSEL，并对其静态特性和动态特性进行了测试和分析，通过提取 D 因子，计算了不同下台面直径对 VCSEL 微分增益的影响。最后，通过建立热仿真模型对 VCSEL 进行了热分布模拟。

本文来源：高速850nm垂直腔面发射激光器的设计与研制_董建

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