据日经新闻(Nikkei)报道,日本化学商社长濑产业(Nagase & Co., Ltd.)宣布进军半导体材料显影液的回收业务。长濑产业表示,由于中东局势引发的半导体材料供应链风险以及环保需求,已有多家客户咨询再生显影液相关事宜。
长濑产业投资约20亿日元(约合1,258万美元)在日本大阪府东大阪市新建了一座工厂,该工厂已于2026年3月正式投产。新工厂将回收日本半导体晶圆厂使用过的显影液,并将其处理至可再次使用的状态。显影液是一种强碱性药剂,是先进半导体制造过程中不可或缺的重要材料,需反复使用数十次。由于其毒性强,废液通常以工业废弃物方式处理,单个晶圆厂每月产生的废液可达数百吨,年处理成本高达数亿至十数亿日元。
为提高回收效率,长濑产业在客户的晶圆厂内设置了专用回收装置。废液中的显影液会先通过药剂反应降低毒性,随后浓缩并运往东大阪工厂进行处理,最终恢复到与新品同等的品质。目前,日本主要显影液供应商包括长濑产业与德山(Tokuyama)等,而全球范围内再生显影液的市场普及度仍然较低,仅有部分中国台湾地区厂商涉足。
值得一提的是,长濑产业在2025年收购了美国化学制造商Celanese的亚洲业务,并吸收了其与合资伙伴共同经营的LCD面板用显影液再生技术。这些高端电解与纯化技术被进一步应用到对纯度要求更高的半导体领域。目前,长濑产业每月再生显影液产能为500吨,目标是在2026年内提升至每月800吨以上。待完成半导体制造商的品质检验程序后,预计将在数年内实现正式导入。
对客户而言,显影液若能实现9成再生,不仅能大幅降低工业废弃物处理费用,还有助于超过7成的用水回收再利用,从而显著提升环保效益。