2月27日，中微公司（688012.SH）发布2025年度业绩快报，全年营业总收入约123.85亿元，同比增长36.62%。归属于母公司所有者的净利润达21.11亿元，同比增长30.69%。扣除非经常性损益后，净利润约15.50亿元，同比增长11.64%。公司资产规模稳健增长，报告期末总资产约297.72亿元，较期初增长13.56%；归属于母公司的所有者权益约226.95亿元，增长14.99%。
报告期内，中微公司主营的等离子体刻蚀设备销售约98.32亿元，同比增长35.12%。作为半导体前道核心设备之一，该产品在国内外市场持续获得认可，尤其在先进逻辑和存储器件制造中表现突出。先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和存储器件超高深宽比刻蚀工艺已实现量产，新增付运量显著提升。
在新产品开发方面，公司近两年成功推出十多种导体和介质薄膜设备。LPCVD和ALD设备销售约5.06亿元，同比增长224.23%。多款新型设备已进入市场，部分设备获得重复性订单，LPCVD设备累计出货量突破三百个反应台。此外，EPI设备已进入客户端量产验证阶段。
中微公司在MOCVD设备领域继续保持国际领先地位，积极布局碳化硅和氮化镓基功率器件市场。Micro-LED和其他显示领域的专用MOCVD设备开发取得良好进展，几款新产品已进入客户端验证阶段。新型八寸碳化硅外延设备和红黄光LED应用设备已付运至国内领先客户，验证进展顺利。
2025年，公司研发投入约37.44亿元，同比增长52.65%，占营业收入比例约30.23%。研发费用达24.75亿元，同比增长74.61%。为弥补国产半导体设备短板，公司加大研发力度，积极赶超国际先进水平。
产能布局方面，公司在南昌和上海临港的生产和研发基地已投入使用，合计超过32万平方米的产业化空间为销售快速增长提供了保障。
