据公开数据及英特尔官网信息显示,3.5D封装技术正逐渐成为半导体领域备受关注的新型先进封装技术。这项技术结合了2.5D中介层横向整合与3D芯片垂直堆叠的优势,形成一种混合型封装方案。
以台积电为例,其成熟的CoWoS技术属于2.5D封装,而类似技术也广泛应用于传统封测代工厂、英特尔、三星电子等企业。不过,随着3D晶圆堆叠技术(如台积电的SoIC)的不断发展,业界开始探索更多整合可能性,从而催生了“3.5D封装”这一概念。
具体而言,3.5D封装可将多组3D垂直堆叠的芯片组,如高带宽存储器(HBM)或逻辑堆叠逻辑芯片,进一步整合到2.5D结构的硅中介层或扇出型封装平台之上。英特尔曾介绍其EMIB 3.5D技术,通过结合嵌入式多芯片互连桥接技术与Foveros,成功打造出一款包含超过1000亿个晶体管、47个主动式晶粒以及5个制程节点的复杂异质芯片。