福拉特半导体设备项目获南京市重大科技专项支持

近日，南京市重大科技专项立项名单公布，江苏福拉特半导体设备有限公司申报的“面向12寸晶圆的高可靠性集成式边缘精密加工与智能检测装备研发及产业化”项目成功入选。该项目旨在解决12寸晶圆边缘精密加工领域长期被国外技术垄断的问题。

图源：南京市创投集团

南京市重大科技专项致力于推动区域关键核心技术突破，支持战略性新兴产业的发展。福拉特的项目攻克了超精密机械平台与多轴协同系统研制、集成式智能检测与感知系统开发等关键技术，为5nm及以下先进制程提供更高精度和稳定性的支持，打破国外技术壁垒。

福拉特成立于2019年3月，专注于半导体与泛半导体湿法制程高端装备的国产化替代。公司主打单片湿法设备、槽式湿法设备、Micro-OLED量产MASKCLEAN设备等产品，拥有多项国内及全球首创技术，累计持有超百项专利与软件著作权。目前，福拉特正加速研发、量产与基地扩建，推动我国半导体显示装备产业升级。

2025年4月，南京市创投集团、新港高投、东方产融联合向福拉特投资数千万元，助力其进一步发展。据南京市创投集团消息，此次投资将进一步提升福拉特的技术研发能力和市场竞争力。