Daifuku成立于1937年,总部位于日本大阪,是全球领先的半导体自动化搬送系统(AMHS)供应商。其服务范围覆盖12英寸与8英寸晶圆生产线,主要客户包括逻辑芯片和存储器领域的龙头企业。Daifuku不仅是一家设备制造商,更是以整厂搬送系统为核心的基础设施提供商。
据公开资料显示,Daifuku早期以工厂自动化和物流系统起家,业务涉及仓储自动化、机场行李处理以及汽车生产线等领域。随着半导体制程节点不断微缩,晶圆厂对洁净度、搬送精度和实时调度能力的要求显著提升,Daifuku逐步将技术重心转向晶圆厂内部的自动化搬送系统。多年来,Daifuku深度参与了台积电、英特尔(Intel)以及三星电子(Samsung Electronics)等大厂的新厂建设和扩产项目。
其核心技术产品为天车式自动搬送系统(OHT),该系统通过无尘室天花板空间搬运FOUP,串联曝光、蚀刻、薄膜沉积及量测等关键制程设备。OHT系统采用非接触式供电和高精度驱动技术,能够在不产生微尘颗粒的情况下实现高速移动与精确定位。同时,该系统与设备端的装载口(Load Port)进行交握(Handshaking),确保晶圆快速进出站,从而减少EUV光刻机的闲置时间。
在系统架构方面,Daifuku将OHT与自动化仓储系统(Stocker)及空中缓冲区(Side Track Buffer, STB)整合,并通过物料控制系统(MCS)进行实时路径优化和任务调度。针对2.5D/3D封装等先进后段制程,Daifuku还提供与异质整合生产线对接的解决方案,进一步满足行业需求。