中国加速光阻剂国产化

据供应链消息，中国在面对日系厂商长期主导光阻剂市场的同时，正加速推动本土产能建设。

从全球市场来看，光阻剂市场长期由日本厂商主导。JSR、东京应化（TOK）、信越化学、住友化学与富士软片等企业占据全球70%以上的市场份额，尤其在EUV等高端光阻剂领域，其市占率甚至接近90%。中国虽有十几家厂商宣称将发展本土光阻剂产能，但技术突破仍需时日。业内人士指出，国内厂商在KrF光阻剂领域可能需要5年才能实现突破，而ArF光阻剂的研发周期可能长达10年。

在半导体制程中，光阻剂的重要性不言而喻。成熟制程的28纳米需30~40道光阻剂涂布程序，而2~3纳米制程则需70~80道。