英特尔14A制程测试ACM设备引争议

据路透社、Tech in Asia等多家媒体报道，英特尔在14A制程节点测试中采用了美国设备商ACM Research的湿蚀刻设备，但因后者旗下位于上海和韩国的两个单位在2024年被美国商务部列入制裁名单，这一决定引发了广泛关注。湿蚀刻是半导体制造中利用化学反应去除硅片材料的重要工艺，与干蚀刻技术相辅相成，对芯片制程的精密图案转印和表面清洁至关重要。

英特尔强调，公司严格遵守所有美国法律，目前尚未决定是否将ACM设备纳入量产流程。然而，美国国会与白宫官员警告称，此举可能带来敏感技术外泄风险，威胁美国半导体产业链安全。

政策层面，出口黑名单对“附属实体”的许可要求尚不明确，关键在于设备组装、软件更新或现场服务是否涉及受制裁单位。若英特尔无法取得必要许可，可能被迫更换供应商，这将对14A制程的测试与量产时程造成影响。

市场分析认为，若美国政府限制英特尔使用ACM设备，日本SCREEN Holdings、东京威力科创（TEL）以及美国科林研发（Lam Research）等供应商或将加速抢占湿蚀刻与清洁设备市场。

后续监管裁决与英特尔的最终选择，将成为影响其先进制程推进的关键观察点。