SK海力士与东进半导体正联合研发高性能EUV光刻胶,旨在替代日本JSR、东京应化工业(TOK)等企业的供应产品,并开发性能更优的新型材料。据此前报道,SK海力士曾在2023年通过其子公司SK Materials Performance实现EUV光刻胶的国产化,但当时量产的仅为低规格型号。而高性能EUV光刻胶,作为核心半导体层的关键材料,长期完全依赖日本进口。
随着DRAM芯片中EUV工艺应用比例的持续提升,光刻胶研发的重要性愈加凸显。不同世代DRAM芯片的EUV光刻层数量呈递增趋势:10纳米级4代(1a)为1层,5代(1b)为3层,6代(1c)为5层,7代(1d)则达到7层。预计10纳米以下制程产品的EUV光刻层数量将进一步增加。
SK海力士此举一方面是为了更高效利用单台价值2000亿韩元的EUV光刻设备,另一方面也是为了应对DRAM芯片中EUV光刻层需求的快速增长。