百傲化学子公司牵头研发大世代干法刻蚀装备

11月17日晚间，百傲化学发布公告称，其控股子公司芯慧联旗下的佛山芯慧联计划与国内知名高校及研究机构共同签署合作研发项目合同，牵头开发大世代干法刻蚀装备。佛山芯慧联将作为项目主导单位，预计投入自有资金2.19亿元。

据公告透露，此次合作研发项目旨在结合公司在大世代刻蚀装备领域的技术优势，通过与高校及科研机构的深度协作，推动国产大世代刻蚀装备的产业化进程。这一项目与百傲化学在半导体领域的业务发展战略高度契合，将为公司提供多元化优质产品和服务奠定基础。

此外，百傲化学强调，通过深化技术协同创新，公司研发能力有望实现质的飞跃，自主创新水平和研发体系效率将显著提升。