据台积电财报数据显示，台积电近年来积极扩展全球布局，分别在美国、日本、德国及中国大陆投资设厂。截至2025年第三季度，台积电已累计获得718.98亿元新台币的政府补助，其中第三季度单季获得47.7亿元新台币补助。结合2023年的751.64亿元新台币补助，台积电近两年累计获得政府补助达1470亿元新台币。
台积电的子公司TSMC Arizona、ESMC、JASM及台积电南京厂等，分别与当地政府签署补助协议。这些补助主要用于不动产、厂房及设备购置成本，同时也覆盖部分生产运营费用。例如，TSMC Arizona可针对符合资格的投资申请高达25%的投资补助。
台积电在美国亚利桑那州的布局尤为引人注目。其第一座晶圆厂将于2024年第四季度量产4nm制程，第二座晶圆厂则计划量产3nm制程，目前正加速推进量产进度。台积电计划在亚利桑那州投资1650亿美元，用于建设6座晶圆厂、2座先进封装厂以及1座研发中心。
在日本，台积电熊本的第一座晶圆厂预计于2024年底量产，第二座工厂的建设也已启动，具体量产计划将根据客户需求和市场状况决定。德国德累斯顿工厂的建设进展顺利，未来量产计划同样视市场需求而定。此外，台积电南京厂在2022年新增了28nm制程产能。
