据《科创板日报》12日报道,荷兰芯片设备制造商阿斯麦(ASML)位于韩国华城的园区正式竣工。该园区占地1.6万平方米,包含深紫外(DUV)光刻和极紫外(EUV)光刻设备零部件再制造中心,以及一个先进技术培训中心。资料显示,阿斯麦曾宣布到2025年将在华城投资2400亿韩元,用于打造一个半导体设备集群。
作为全球半导体光刻系统领域的龙头企业,阿斯麦总部位于荷兰费尔德霍芬,业务覆盖全球60多个地区。其核心业务是为半导体制造商提供光刻机及相关软硬件服务,产品覆盖多种技术节点,具备差异化竞争优势。其中,DUV深紫外光刻机是主流高端芯片制造的关键设备,通过ArF浸没式技术,可支持7纳米、5纳米等先进制程芯片的生产。借助多重曝光技术,该设备还能适配更先进的技术节点,成为众多芯片厂实现成熟制程与中高端制程生产的核心装备。