由于南部科学园区半导体产业用地趋于饱和，中国台湾地区科技部门正加速推进土地开发，以满足台积电的扩产需求。其中，中国台湾地区中油公司位于楠梓的后劲五轻炼油厂原址，因土地污染需投入570.11亿元新台币进行整治和开发。此项目已进入第二阶段环评，被认为有望通过审批，未来将转型为绿色生态科学园区。
熟悉南部科学园区的人士透露，南科的台南园区及高雄园区目前出租率高达98.56%，几乎满载。尽管行政机构已批准高雄第二园区（桥头园区）及台南园区三期扩建计划，但经厂商评估，这些区域并不适合高端制程设厂需求。根据中国台湾地区的计划，科学园区扩充优先考虑既有园区周边土地，因此楠梓园区的开发成为重点。
台积电在楠梓的P1厂已成功试产2纳米制程，预计5座工厂将于2027年第四季度全部完工，届时高雄将成为全球规模最大的先进制程芯片制造基地。然而，该地区曾因淹水问题引发关注，政府计划以百年防洪标准设计，台积电厂区将垫高3米以应对潜在风险。
据环保团体透露，中国台湾地区科技部门曾计划上调科学园区用地上限，从2030年的600公顷增加至2050年的3000公顷，总面积可能达到7440公顷。对此，科技部门解释称，全球AI技术发展推动芯片需求激增，至2025年现有土地将无法满足产业增长，因此需新增2000公顷土地，以支持台积电未来3至4个技术世代的升级和扩产。
据统计，科学园区目前已核定用地5341公顷，若新增2000公顷，总面积将达7341公顷。随着台积电产能扩充，预计年用电量可能增加9至12GW，每日用水量新增90至120万吨。台积电对绿电的需求也吸引了多家欧洲企业来台投资离岸风电。
