近日，上海优睿谱半导体设备有限公司（简称“优睿谱”）宣布推出全新产品系列——暗场无图形晶圆缺陷检测设备LSRVision，并成功交付国内头部客户。该系列产品专为晶圆表面缺陷检测设计，能够检测包括颗粒、划痕、裂纹、滑移线、凸点、外延缺陷等多种问题，最高可识别60nm尺寸的颗粒。
据公司介绍，LSRVision通过适配不同波长的激光器，可广泛应用于碳化硅、氮化镓、氧化镓、硅、砷化镓及磷化铟等材料的衬底和外延片表面缺陷检测。与传统线扫和拍照模式的自动光学检测（AOI）技术相比，优睿谱LSR系列设备采用多波长光学系统设计，配备高速旋转主轴（转速每分钟超过5000转），并通过多组光电倍增管与滤光片实现信号采集。该系统最多可同时采集八通道信号，涵盖散射、光致发光、反射、形貌及相位信息等，不仅保证了高灵敏度和检测准确性，还显著提升了检测效率。
优睿谱成立于2021年，由海归博士领衔，联合国内资深半导体前道制程量测设备技术团队共同创立。公司专注于开发高品质的半导体前道量测设备，提供光学测量、缺陷检测及电性能测量的综合解决方案，助力半导体产业技术升级。
