精测电子准分子激光器核心模块将送客户验证

10月22日，精测电子在投资者互动平台透露，公司自主研发的准分子激光器核心模块已获得客户认可，即将进入批量验证阶段。这一成果标志着精测电子在半导体精密设备核心光源领域取得了阶段性突破。

准分子激光器作为半导体光刻及显示检测设备的核心部件，对精度、能量稳定性及使用寿命要求极高。精测电子研发团队经过多轮设计优化与性能测试，成功实现了核心模块的量产验证条件。目前，公司半导体核心零部件已获得多个重复性订单，正处于整机集成验证阶段，预计将在晶圆厂及面板厂的多场景中逐步应用。

近年来，精测电子持续加大在高端检测设备及关键核心模块的研发投入，其业务涵盖半导体检测、显示检测及新能源检测三大板块。公司不断完善从核心部件到整机系统的布局，推动国产化替代进程。业内人士表示，此次批量验证若顺利通过，将为精测电子拓展高端半导体装备市场奠定重要基础，同时进一步巩固其在国产光源装备领域的竞争优势。