晶圆测试探针卡（Probe Card）是半导体制造过程中用于晶圆电性测试的重要界面工具，属于半导体测试界面的一种。它的核心作用是在晶圆尚未切割为单颗芯片前，将测试设备（Tester）与晶圆上各芯片的焊垫（Pad）进行临时连接，从而完成电性检测。
探针卡通常安装在测试机台（如Wafer Prober）上，通过上方输入的测试信号，与下方的微细探针阵列接触晶圆，以验证每颗芯片的功能和性能是否符合规格要求。根据具体应用需求，探针卡可分为悬臂式（Cantilever）、微机电式（MEMS）和垂直式（Vertical）等多种类型。
随着芯片I/O数量和封装密度的不断提升，探针卡需要具备更高的针数精度、平整度以及电信号完整性，同时还要适应高频、高电流和高温等严苛测试环境。探针卡的品质对测试良率和成本有着直接影响，因此在晶圆测试阶段扮演着至关重要的角色。
探针卡的制造涉及精密机械、材料科学和微电子技术，属于高附加值设备，其主要供应商集中在日本、美国和中国台湾地区。据业内人士透露，中国台湾地区知名探针卡厂商包括旺矽、中华精测、颖崴科技、雍智和汉民测试等企业，其产品广泛应用于逻辑IC、存储器以及AI芯片等先进制程领域。
探针卡作为半导体测试中的核心元件，其技术发展与市场需求密不可分，未来有望在更多领域展现其价值。
