台积电美国新厂内部曝光

台积电近日发布了一段2分21秒的影片，展示了其位于美国亚利桑那州的新厂Fab 21的内部运作情况。这座北美最先进的晶圆制造基地向外界揭开了神秘面纱，尤其是ASML的Twinscan NXE极紫外光（EUV）微影设备和被称为“银色高速公路”的自动化物流系统，成为最大亮点。

影片一开始呈现了一条穿越无尘室的路径，室内采用黄色照明。这种灯光能够过滤掉较短波长的光线，避免光刻机意外曝光。目前，Fab 21正在逐步提升4nm和5nm制程芯片的生产能力，这些技术将用于制造英伟达Blackwell B300等高端处理器。

随后，画面展示了台积电的自动化物流搬运系统，也被称为“天车”。这套系统由悬挂式轨道组成，用于运送装载12英寸晶圆的前开式晶圆传送盒。数百个传送盒同步移动，展现了晶圆厂内高效且精密的物流运作能力。这套系统正式名称为“OHT空中走行式无人搬运车（Overhead Hoist Transfer）”，能够最大化利用厂房空间，同时不影响人员通行。

据台积电2021年透露，当时厂区内的天车一天行走的距离相当于绕地球20圈，约等于从中国台湾最北端到最南端往返2000次。随着台积电在美国、日本等地新厂的投产，天车系统的规模也在不断扩大，成为其高产能制造的重要支撑。