近日，西昌生态环境局发布了一则关于科芯半导体装备制造产业园（一期）项目的环评审批公示。随着环评审批流程的推进，该项目有望加速落地实施。
据悉，该项目由科芯半导体科技（凉山州）有限公司投资建设，选址位于西昌钒钛产业园区JJ-B-06-07号地块东北侧，总投资达21亿元人民币。项目规划建筑面积约2万平方米，主要聚焦碳化硅半导体配套设备及零部件的生产制造，预计年产能为500台（套）碳化硅半导体配套设备以及5万件碳化硅零部件。
图源：西昌生态环境局审批公示截图
根据规划，项目将建设两条生产线。其中一条为碳化硅半导体零部件生产线，主要生产刻蚀环、静电吸盘、AR镜片基材等产品，核心工序采用物理气相沉积工艺，中段工序如切磨抛、退火等则通过外协完成。另一条为碳化硅半导体配套设备器件生产线，企业将自主完成设计、软件开发及原辅材料准备，而组装和测试环节则由外协完成。
科芯半导体科技（凉山州）有限公司成立于2024年10月14日，注册资本5000万元人民币，位于四川省凉山彝族自治州。公司经营范围涵盖技术服务、电子专用材料制造、半导体器件专用设备制造以及光伏设备及元器件制造等多个领域。
