英特尔亚利桑那工厂引进EUV设备

英特尔位于美国亚利桑那州钱德勒市Ocotillo园区的Fab 52工厂。据设备业者透露，该工厂已导入4台ASML的极紫外光（EUV）光刻机，并预留了两台设备的扩充空间，为未来扩产做好准备。目前，Fab 52已投入Intel 18A制程的量产，目标是成为美国先进芯片制造的核心推手。

Ocotillo园区是英特尔深耕超过45年的制造重镇，累计投资超过500亿美元。从早期的Fab 12到如今的Fab 52，这一园区见证了英特尔技术的不断演进。走进Fab 52，可以看到三层楼高的第三代EUV设备正在高速运转，其厂房特别加高设计以容纳这些“生产巨兽”。头顶的OHT（自动天车）系统高效运转，为下一代Panther Lake与Clearwater Forest芯片的生产提供支持。

据英特尔透露，目前EUV设备的每小时产能（WPH）约为195片晶圆，未来有望提升至220片。Intel 18A的月产能预计从今年底开始逐步拉升，2026年将达到1万至1.5万片，2027年后有望突破3万片。完成前段制程的晶圆，将送往新墨西哥州的封装厂进行后段制程，从而实现“全美制造”的芯片生产链。

英特尔CEO陈立武近期亲自视察亚利桑那工厂，外界认为，凭借其与全球芯片大厂的良好关系，英特尔有望吸引更多外部客户代工，重塑全球晶圆制造格局。