上海微电子：半导体设备本土化的关键力量

据报道，上海微电子设备（集团）股份有限公司（简称SMEE）已成为国内半导体设备自主研发与量产的重要代表。公司总部位于上海浦东，其研发团队在光学、精密机械及控制系统领域具备深厚技术积累。

SMEE的产品线覆盖晶圆曝光机、封装曝光机以及面板曝光设备等。其中，晶圆曝光机主要聚焦90纳米至28纳米等级的深紫外光（DUV）技术。近年来，公司加速推进浸润式曝光机的研发，以突破先进制程的技术瓶颈。

在美国限制ASML对华出口高端设备的背景下，SMEE的地位愈加凸显。通过不断扩展专利布局，并与晶圆厂合作进行测试，公司正逐步实现更高精度曝光机的量产，为推动国内半导体供应链自主化提供重要支撑。