芯源微前道设备取得突破，化学清洗机获批量订单

近日，芯源微在投资者关系活动记录表中透露，其前道化学清洗机签单表现亮眼，高温SPM机台已通过国内领先客户工艺验证，成功打破国外技术垄断，获得市场高度认可。该设备目前已赢得国内多家大客户的订单及验证性订单，部分客户在前期验证基础上，已陆续下发重复批量性订单。

芯源微表示，2025年上半年签单情况良好，对全年目标完成充满信心。下半年，公司计划继续推进化学清洗机在国内主要客户的导入与验证工作。此外，芯源微新一代前道涂胶显影机的研发及客户导入进展顺利，预计将在今年第四季度发往客户端进行验证，明年有望看到该机型在客户端的实际表现。