2025年9月19日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）在广州增城经济技术开发区举行了华南总部研发及生产基地项目的开工仪式。
中微公司董事长兼总经理尹志尧博士在致辞中表示，数码产业是现代工业和国民经济发展的引擎，集成电路和各种微观器件是数码产业的核心。公司计划在未来五到十年内，通过有机生长和外延扩展，逐步覆盖半导体高端设备的50%到60%，发展成为平台型的集团公司。
中微公司自2004年成立以来，一直致力于开发和提供等离子体刻蚀、化学薄膜、量检测等微观加工所需的高端关键设备。公司在过去14年保持营业收入年均增长大于35%。在2024年比2023年销售增长44.7%的基础上，2025年上半年营业收入继续保持高速增长，同比增长43.9%，达到49.61亿元。
基地建成后将聚焦大平板显示设备领域的研发与生产，并将逐步拓展至智能玻璃、板级封装等其他新兴平板微观加工技术领域。此次开工建设的一期项目占地约50亩，预计2026年年底建成，2027年计划投产。
公司持续加大研发力度，2025年上半年研发投入达到14.92亿元，同比增长约53.70%，研发投入占公司营业收入比例约为30.07%。公司目前在研项目涵盖六大类设备、二十多款新产品的开发，包括新一代TSV深硅刻蚀设备和PVD及CVD设备。
