中微公司于8月28日晚发布了2025年半年度报告，报告显示，公司上半年实现营业收入49.61亿元，同比增长43.88%；归母净利润为7.06亿元，同比增长36.62%。
在研发方面，中微公司上半年投入达14.92亿元，同比增长53.7%，研发费用占营收比例突破30%。公司核心产品等离子体刻蚀设备表现强劲，上半年销售额达37.81亿元，同比增长40.1%，技术能力已覆盖5纳米及更先进制程，市场占有率稳步提升。
薄膜沉积设备成为公司业绩增长的新亮点。报告期内，LPCVD和ALD设备销售收入同比增长608.2%。公司开发的金属栅系列产品已完成多个先进逻辑客户的设备验证，性能达到国际先进水平。
中微公司积极布局泛半导体领域，其MOCVD设备在氮化镓基LED市场保持领先，并逐步向碳化硅、氮化镓功率器件以及Micro-LED等新兴领域扩展。今年，公司已向国内领先客户交付首台红黄光LED专用MOCVD设备，开展生产验证。
