近日，中科卓尔宣布完成数亿元B轮融资，领投方为中银国际投资旗下的成都交子中赢创新发展基金，多家跟投机构也在快速推进中。融资资金将主要用于半导体光刻用石英掩模基板的研发、国产化产线建设以及突破量产瓶颈。
中科卓尔成立于2018年，由中科院光电所杨伟博导领衔组建，专注于精密光学、半导体材料及智能装备的研发与生产。公司突破了半导体掩模版基板精密抛光与镀膜关键技术，具备从工艺到核心设备的自主研发生产能力，并承担国家半导体空白掩模版产业链攻关项目。其主要产品覆盖130~250nm制程的半导体和显示用空白掩模版，同时正在积极储备28~90nm制程的研发。
空白掩模版是光刻工艺中的核心材料，直接影响光刻精度和产品良率。目前，中国大陆能够小批量稳定供应第三方石英空白掩模版的企业仅4~5家，且关键设备仍依赖进口。中科卓尔致力于解决这一“卡脖子”难题。
技术层面，中科卓尔已实现多项自主突破。其超精密抛光工艺表面粗糙度优于0.2纳米，优于国际主流的0.3纳米；磁控溅射镀膜设备膜层均匀性达到±2%，高于国际标准的±5%；缺陷检测系统可识别0.3微米级瑕疵并关联生产数据。目前，国产空白掩模版在130~500nm制程已实现技术对标，但在100nm以内节点仍需进一步突破。
商业化方面，中科卓尔的空白掩模版已通过路维光电、龙图光罩等企业验证，并在成都中试线完成工艺与产品验证。
