江苏集芯成功研发8英寸液相法碳化硅单晶

近日，江苏集芯先进材料有限公司（以下简称“江苏集芯”）宣布成功出炉首枚8英寸液相法（LPE）高质量碳化硅单晶。检测结果显示，该晶体的面型、晶型及结晶质量均达到预期目标。

据徐州日报报道，江苏集芯仅用半年时间便完成了液相法工艺从6英寸到8英寸的研发跨越。液相法相较于传统的PVT法，在生产效率、材料利用率、成本控制以及大尺寸扩径等方面具有显著优势，被业界公认为下一代碳化硅晶体生长的核心技术路线。目前，全球范围内能够成功试制液相法晶体的顶尖机构屈指可数，而真正实现8英寸级晶体研发的案例更为罕见。

此次技术突破为未来低成本、低缺陷、易掺杂的碳化硅晶体生产铺平了道路，有望进一步推动我国在碳化硅领域的技术进步和产业化进程。