三星电子正通过韩国企业S&S Tech，加速推动极紫外光（EUV）空白光罩的国产化进程，目标是在2025年内完成最终品质认证。若成功，这将成为继东进世美肯开发EUV光阻后，韩国在EUV关键材料领域的又一重要突破。
据韩媒Theelec援引业界消息，三星目前正在实际制程环境中对S&S Tech提供的EUV空白光罩样品进行缺陷检测与评估。目前，三星大部分EUV空白光罩依赖从日本Hoya进口，但因过去日本地震等不可控因素曾导致供应中断，即便Hoya在新加坡扩建了生产线，供应仍存在不确定性。
为降低对外依赖并提高供应稳定性，三星半导体的光学技术团队积极推动国产化计划，同时希望通过此举大幅削减生产成本。据悉，高端EUV空白光罩单价高达1亿韩元（约合7.3万美元）。如果国产化成功，三星每年可节省数百亿韩元成本，并缩短交货周期。
尽管三星对S&S Tech寄予厚望，但为应对可能的品质评估失败或进度延迟，三星已准备让第二大供应商AGC作为补充供应方。业界普遍认为，S&S Tech通过评估的可能性较高。
EUV技术对制造与检测设备的精密度要求极高，任何微小瑕疵都可能导致严重问题。为此，S&S Tech于2024年12月初向日本Lasertec采购了一台价值约417亿韩元的EUV光罩检测设备，预计2025年10月初运抵其位于龙仁的新工厂。由于设备订单排队情况严重，三星曾协助促成此次采购。
DS投资证券近期报告指出，S&S Tech预计从2026年初开始量产EUV空白光罩，并实现营收增长。一旦正式进入市场，公司将获得更多价值认可。
此外，S&S Tech在既有业务上也表现强劲，尤其受益于中国半导体工厂扩建带来的深紫外光（DUV）空白光罩订单激增，创下季度营收新高。预计2025年公司营收将达2,200亿韩元，同比增长约30%。若现有业务与EUV空白光罩商业化同步推进，公司有望成为年营收达5,000亿韩元级别的企业。
