北方华创发布首款离子注入机，进军半导体核心装备市场

3月26日，在SEMICON China 2025大会上，北方华创正式发布其首款离子注入机Sirius MC 313，并宣布进军离子注入设备市场。这一举措标志着北方华创在半导体核心装备的战略布局上迈出了重要一步，已基本覆盖除光刻机外的所有半导体前道制造设备。

离子注入机是芯片制造中的关键设备，其作用是在芯片制造过程中通过加速带电离子至预定能量并注入特定半导体材料，从而精准改变材料的电性能。离子注入机主要由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统及工艺腔组成。其中，离子源是核心部件，负责将气态粒子电离成离子，并通过直流或高频放电产生电子轰击目标元素，形成正离子。随后，正离子经过质量分析器筛选、加速器加速以及四级透镜聚焦后进入靶室完成注入。

根据能量范围和注入剂量的不同，生产型离子注入机主要分为低能大束流注入机、中束流注入机和高能注入机三类。其中，高能离子注入机技术难度最大，能量范围需达到几MeV（百万电子伏特）。

过去，离子注入机市场长期被Applied Materials、Axcelis、SEN、AIBT等国际品牌垄断，国产化率较低。近年来，随着国内半导体设备替代热潮的兴起，中国电科、凯世通、北京烁科等厂商在离子注入设备领域取得了显著进步。

据国际半导体产业协会（SEMI）数据，2024年全球离子注入设备市场规模达276亿元，预计到2030年将增长至307亿元。北方华创表示，公司此次进军离子注入设备领域，将撬动国内160亿元的市场空间，助力中国半导体装备在高端市场的突破与发展。