至纯科技拟收购威顿晶磷控股权，股票停牌

2月17日，至纯科技发布公告称，公司正在筹划通过发行股份及支付现金相结合的方式，购买贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司的控股权，并募集配套资金。此次交易完成后，威顿晶磷将成为至纯科技的控股子公司。公司股票自2月17日起停牌，预计停牌时间不超过10个交易日。

至纯科技是国内领先的湿法设备供应商之一，旗下至微科技能够覆盖晶圆制造中逻辑电路、高密度存储、化合物半导体等多个细分领域的市场需求。公司高端产品如SPM高温硫酸清洗设备、去胶设备和晶背清洗设备已取得突破，并交付给多家国内主流晶圆厂。其中，至微的S300 SPM机台单设备在用户量产线上持续稳定运行，标志着高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。

至纯科技在系统集成及支持设备领域也保持持续增长，已成为国内最大的高纯工艺系统支持设备供应商。公司支持设备业务量接近系统集成业务总量的40%，有效打破了国外气体公司垄断的格局。其核心技术能够实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，超越国内竞争者，部分功能甚至超越国际品牌。核心客户包括中芯国际、华虹、上海华力、长江存储、合肥长鑫、士兰微等一线集成电路制造企业。