国内首条8英寸SiC中试线在深圳正式通线

近日，深圳平湖实验室宣布，国家第三代半导体技术创新中心深圳综合平台已举办通线仪式，标志着国内首个集科研和中试于一体的8英寸先进功率半导体开放共享平台正式通线。这一平台覆盖第三代功率半导体衬底、外延、器件制备、封装测试、失效分析、可靠性验证全链条，建成先进的8英寸工艺平台，具备向下兼容能力。

在通线仪式后，深圳综合平台与17家企业签署合作框架协议，将在第三代半导体领域全面开展前沿探索、应用基础研究、重大技术攻关、产业应用示范等工作，形成战略合力。

平湖实验室已布局1200-6500V SiC MOSFET及15-1200V GaN HEMT产品及工艺平台，积极构建从材料制备、芯片设计、晶圆制造到封装测试的完整产业链，为我国第三代半导体产业链的完善和升级提供重要助力。

未来，深圳综合平台将致力于在重点关键核心技术领域实现突破，加速科技成果的产业转化进程，努力成为世界领先的第三代及第四代功率半导体创新、中试及共享的平台。